數(shù)顯勻膠臺 型號：MHY-26376

本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中，在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻（感光）膠的設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力，將滴于基片上多余的光刻（感光）膠液甩去，在光刻（感光）膠表面張力和離心力的共同作用下，展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào)，電器電路具有較高的穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)合理，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示，直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。

主要技術(shù)參數(shù)：
 

1、工作電壓：
 
380V/220V

2、整機(jī)功率：
 
1200W

3、勻膠時間控制范圍：
 
0.01-99.99秒；0.01-99.99分

4、轉(zhuǎn)速：
 
0-8000Rpm

5、裝片直徑（可根據(jù)用戶要求定制）：
 
ф35-75mm

6、勻膠工位（可根據(jù)用戶要求定制）：
 
1-4工位

7、外形尺寸：
 

長*寬*高 850*810*1600mm
 

8、凈重：
 
120kg
 

本機(jī)是用于半導(dǎo)體、集成電路及激光全息商標(biāo)制造過程中，在硅片、掩模板、玻璃片、陶瓷片等基片上進(jìn)行涂布光刻（感光）膠的設(shè)備。本機(jī)的工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的離心力，將滴于基片上多余的光刻（感光）膠液甩去，在光刻（感光）膠表面張力和離心力的共同作用下，展成厚度均勻的膠膜。本機(jī)具有勻膠效率高、使用方便等優(yōu)點(diǎn)，勻膠速度和勻膠時間分別可調(diào)，電器電路具有較高的穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)合理，旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速、時間采用數(shù)字顯示，直觀性強(qiáng)。本機(jī)可與光刻機(jī)配套使用。

主要技術(shù)參數(shù)：
 

1、工作電壓：
 
380V/220V

2、整機(jī)功率：
 
1200W

3、勻膠時間控制范圍：
 
0.01-99.99秒；0.01-99.99分

4、轉(zhuǎn)速：
 
0-8000Rpm

5、裝片直徑（可根據(jù)用戶要求定制）：
 
ф35-75mm

6、勻膠工位（可根據(jù)用戶要求定制）：
 
1-4工位

7、外形尺寸：
 

長*寬*高 850*810*1600mm
 

8、凈重：
 
120kg