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四探針電阻率檢測儀探測儀使用原理

閱讀：767      發(fā)布時間：2019-9-4
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　　四探針電阻率檢測儀型號：BT-300H

　　四探針測試儀是根據(jù)四探針測試原理研究成功的多用途的綜合測量裝置，它可以測量棒狀、塊狀半導(dǎo)體材料的電阻率和半導(dǎo)體擴散層的薄層電阻進(jìn)行測量，可以從10-6--105Ω—cm全量程范圍檢測硅的片狀、棒狀材料的電阻、薄層電阻，是硅材料質(zhì)量監(jiān)測的必需儀器。

　　儀器主要技術(shù)指標(biāo)：

　　1.   范圍：電阻率10-4—103Ω—cm，可擴展至105Ω—cm，

　　分辯率為10-6Ω—cm

　　方塊電阻10-3—103Ω /電阻10-6—105Ω

　　2.  可測半導(dǎo)體尺寸：直徑Φ15—150mm

　　3.  測量方式：軸向、斷面均可(手動測試架)

　　4.  數(shù)字電壓表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

　　(2)測量誤差 0.2mV檔±(0.3%讀數(shù)+8字)

　　2 mV檔以上±(0.3%讀數(shù)+2字)

　　(3)輸入阻抗0.2mV、2mV擋105Ω

　　20mV檔以上>108Ω

　　5.  恒流源：(1)電流輸出：直流電流0—100mA連續(xù)可調(diào)，由交流電源供給

　　(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五檔

　　(3)電流誤差：±(0.3%讀數(shù)+2字)

　　6.四探針測試探頭  (1)探頭間距：1mm   (2)探針機械游率：±0.3%

　　(3) 探針：Φ0.5mm

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