勻膠機(jī)又稱旋涂機(jī)、甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、真空鍍膜機(jī)
勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝,主要應(yīng)用于溶膠-凝膠(sol-gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 可設(shè)定存儲(chǔ)7個(gè)不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過(guò)程。
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 每個(gè)涂敷工藝過(guò)程可以設(shè)置25步不同的速度狀態(tài);
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 液晶顯示屏可以實(shí)時(shí)顯示:
1. 第N個(gè)涂敷工藝過(guò)程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態(tài)。
4. 設(shè)置時(shí)間;及實(shí)時(shí)運(yùn)行時(shí)間。
5. 設(shè)置速度;及實(shí)時(shí)速度狀態(tài)。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
人機(jī)交互式對(duì)話,簡(jiǎn)潔,明了
勻膠機(jī)旋涂?jī)x器空吸片系統(tǒng)更安全:
勻膠機(jī)旋涂?jī)x安裝有真空度傳感器,涂敷工作過(guò)程電腦實(shí)時(shí)檢測(cè)系統(tǒng)真空度,
必須在安全的真空度下,電機(jī)啟動(dòng),運(yùn)行。保障可靠吸片,不飛片。
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 變頻調(diào)速電機(jī),轉(zhuǎn)速高:
300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 %
高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 不銹鋼機(jī)殼 NPP材質(zhì)工作腔
不銹鋼機(jī)殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
勻膠機(jī)旋涂?jī)x NPP材質(zhì)工作腔。
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 單相交流電源:220V.50Hz
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 電機(jī)功率:150W
勻膠機(jī)旋涂?jī)x 旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑:4英寸
基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時(shí)間:1---9999秒。
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