勻膠機是在旋轉的基片上,滴注膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
選購技巧
從其原理來說,可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉速度
轉速的快慢和控制直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速大。
真空吸附系統的構造
如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。
材質的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。
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