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熱偶真空計(jì)的介紹

閱讀:763      發(fā)布時(shí)間:2020-10-10
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  熱偶真空計(jì)利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空計(jì)。
 
  工作原理
 
  熱電偶接在白金或鎢的細(xì)線上。這段細(xì)線通過電流后會(huì)發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承擔(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計(jì)的原理。
 
  如果保持細(xì)線的發(fā)熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使細(xì)線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時(shí)候細(xì)線的溫度會(huì)升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內(nèi)的壓力。
 
  特征
 
  利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計(jì)測得細(xì)線溫度同時(shí),也受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單,價(jià)格低廉。
 
  另外此真空計(jì)在大氣壓狀態(tài)下也不會(huì)燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出,因此在自動(dòng)控制方面容易控制。

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