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儀器網(wǎng) 政策標準】近日，國家標準計劃《表面
化學分析 俄歇
電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》公布征求意見稿，標準等同采用ISO國際標準ISO 15471:2016，擬于發(fā)布后3個月正式實施。
表面化學分析是一個涉及廣泛且不斷發(fā)展的領(lǐng)域，它在許多科學和技術(shù)領(lǐng)域中都扮演著至關(guān)重要的角色，包括材料、
能源、生物醫(yī)學、環(huán)境等。而俄歇電子能譜儀(Auger Electron Spectroscopy, AES)是是表面分析的最核心儀器之一。它主要依據(jù)俄歇效應來分析固體樣品表面區(qū)域(≈1 nm至10 nm)的化學成分和結(jié)構(gòu)信息，廣泛應用于材料分析、催化、吸附、腐蝕、磨損等領(lǐng)域的研究。
全球有多家廠商生產(chǎn)俄歇電子能譜儀(AES)和掃描俄歇電子顯微鏡(SAM)。盡管每臺儀器的 AES 分析方法的基本原理是相同的，但儀器的具體設計和性能說明的方式各不相同。因此，通常很難比較不同廠商生產(chǎn)的儀器性能。因此AES分析需要提供一個基本項目單，以使所有AES能以共同的方式來表述，并就廠商說明書中所確定的某些項目給出一致、明確的定義。
為使我國AES分析技術(shù)保持與國際接軌，國家標準與ISO同步，全國微束分析技術(shù)委員會表面分析分技術(shù)委員會于2020年提出將ISO 15471:2016轉(zhuǎn)化為國家標準，并列入國家標準委2022制修訂國家標準計劃，項目編號為20221773-T-469，即《表面化學分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》。標準計劃由 TC38(全國微束分析標準化技術(shù)委員會)歸口，TC38SC2(全國微束分析標準化技術(shù)委員會表面化學分析分會)執(zhí)行。
文件詳細表述了如何選擇俄歇電子能譜儀的性能參數(shù)，包括選用的分析方法、樣品制備、系統(tǒng)的構(gòu)造、電子槍陰極、橫向分辨和束流、譜儀強度性能和能量分辨、譜儀能量標、譜儀強度線性、譜儀響應函數(shù)、譜儀參數(shù)、圖像漂移和真空環(huán)境等。同時文件也給出涉及的規(guī)范性引用文件、術(shù)語及定義、符號及縮略語。
目前，我國本領(lǐng)域僅有GB/T 25187-2010/ISO 15471:2004 IDT 《表面化學分析 俄歇電子能譜 選擇儀器性能參數(shù)的表述》國家標準。而本標準等同采用國際標準ISO 15471:2016，與國際標準在技術(shù)內(nèi)容方面完全相同。與GB/T 25187—2010相比，除了結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，本標準主要技術(shù)變化包括：更改了術(shù)語和定義，“空間分辨”更改為“橫向分辨”。
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