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掃描電鏡的發(fā)展歷史

閱讀：998 發(fā)布時(shí)間：2019-07-30

　　20 世紀(jì)的人們?cè)赿ian話(huà)亭中言語(yǔ)的畫(huà)面還歷歷在目，轉(zhuǎn)眼到了 21 世紀(jì)，我們就已經(jīng)用上了手機(jī)，不僅體積小巧，信號(hào)質(zhì)量更好，而且功能愈加豐富。那么在這幾十年的時(shí)間里，掃描電鏡有沒(méi)有變得更小巧、分辨率更好呢？

　　答案當(dāng)然是肯定的。首先，我們來(lái)簡(jiǎn)單回顧一下掃描電鏡的發(fā)展歷史：

　　1953 年

　　英國(guó)劍橋大學(xué)的麥哲馬倫等人研制成功第yi臺(tái)實(shí)用型掃描電鏡，分辨率達(dá)到 50 nm

　　1965 年

　　英國(guó)劍橋科學(xué)儀器公司研制成功第yi臺(tái)商用掃描電鏡 Mark I，其分辨率為 10 nm，從此揭開(kāi)了掃描電鏡研發(fā)、制造和應(yīng)用的開(kāi)端

　　1975 年

　　美國(guó)將微型計(jì)算機(jī)引入到掃描電鏡中，用于程序協(xié)調(diào)控制加速電壓，放大倍數(shù)和磁透鏡焦距的關(guān)系，二次電子圖像分辨率可達(dá) 6 nm

　　2005 年

　　美國(guó)發(fā)布第yi臺(tái)具有超高分辨率的帶有低真空的場(chǎng)發(fā)射電鏡，其分辨率為 1.0 nm

　　2010 年

　　冷場(chǎng)掃描電鏡的上市將分辨率提升到了 0.4 nm

　　由此脈絡(luò)可以清晰地看處，隨著科技的發(fā)展，掃描電鏡的分辨率在逐漸降低并趨近于電子束波長(zhǎng)(0.01-0.001 nm)，其好處不言而喻——能夠通過(guò)電鏡看清楚更微小的物體，探索更微觀的世界。

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掃描電鏡的發(fā)展歷史

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