產品簡介 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀，控制面板采用觸摸屏模式，基片zui大尺寸2″，放置樣品的直徑為Φ50mm，加熱溫度達500℃。本機可濺射金、鋁、銅三種靶材，并采用旋轉式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。 主要特點 1、PLC控制面板，PID控溫方式。 2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片、加熱溫度。 3、已通過CE認證。 技術參數 1、輸入功率：110V/220V通用 1200W（含真空泵） 2、輸出功率：1600VDC 50mA（zui大電流） 3、石英罩：Φ160mm×1200mm 4、樣品臺：Φ50mm 5、加熱溫度：500℃， 6、控溫精度：±1℃ 7、靶材尺寸：Φ47mm×0.12mm 產品規(guī)格 尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg 標準配件 金、銀、銅靶材各1塊 可選配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑、銀、鋅等靶材