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SJ6000激光干涉儀

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SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)的高精度測(cè)量。

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1.    簡(jiǎn)介

1.1 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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  SJ6000激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長(zhǎng)為單位的一種計(jì)量方法,是高精度、高靈敏度的檢測(cè)儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

  SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)多種參數(shù)的高精度測(cè)量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm),采用不同的光學(xué)鏡組可以測(cè)量出線性長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度以及垂直度等幾何量,并且可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)測(cè)量分析。

  SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)線性長(zhǎng)度、角度、平面度、直線度、垂直度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè);進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析;滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析;驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析;導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。


2. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)

2.1. 產(chǎn)品特點(diǎn):

精度高:

  以激光干涉技術(shù)為核心,分辨力可達(dá)納米級(jí);采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,解決了溫度、空氣壓力、相對(duì)濕度、材料溫度等環(huán)境因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響;使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng),保證激光*穩(wěn)頻精度;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩(wěn)定。

功能廣:

  具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測(cè)功能。可以檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測(cè)運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量(位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線) 及測(cè)量振幅和頻率分析的功能,可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)量與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。 可自動(dòng)監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)??蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

標(biāo)準(zhǔn)多:

  內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn),含國(guó)標(biāo)(GB) 、ISO() 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共13份 ??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

便攜性:

  使用方便:準(zhǔn)直激光后,輕易實(shí)現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測(cè)量。 攜帶方便:基本重量為15kg,簡(jiǎn)單便攜。

可定制:

  測(cè)量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫(kù)管理,可按被測(cè)件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號(hào)、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號(hào)、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄;可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。 2.2. 分析標(biāo)準(zhǔn)配置:

  SJ6000激光干涉儀測(cè)量分析軟件支持以下檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn):內(nèi)置國(guó)內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn),含國(guó)標(biāo)(GB) 、ISO() 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共13份 ??梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù),并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。



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