Dektak 8臺階式探針輪廓儀，結(jié)構(gòu)緊湊，可提供很高的重復(fù)性和精度。*的X–Y方向定位系統(tǒng)可移動(dòng)到8 x 8 inch區(qū)域的任何位置。它不僅能測量臺階高度和表面紋理，還能測量金屬蝕刻速率的均勻性、焊點(diǎn)高度、纖維光學(xué)元件和顯微透鏡。全程程序控制的Dektak 8系統(tǒng)對于MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體應(yīng)用都非常方便。

技術(shù)參數(shù)

臺階高度重復(fù)性: 7.5Å,1σ在1um標(biāo)準(zhǔn)臺階上
zui大晶圓尺寸：200mm
zui大樣品厚度：25.4mm （1 in.）
每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn)：zui多可達(dá)60，000數(shù)據(jù)點(diǎn)
掃描長度范圍：標(biāo)配zui大50mm
垂直范圍：標(biāo)配262um；可選1mm
zui大垂直分辨率：1Å （6.55微米垂直范圍下）