概述

      多 功能數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理測(cè)試電阻率/方阻的多用途綜合測(cè)量 儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定 方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針法》、 GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針法》并參 考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。
      儀器成套組成：由主機(jī)、選配的四探針探頭、測(cè)試臺(tái)等部分組成。
主機(jī)主要由精密恒流源、高分辨率ADC、嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；電壓電流全自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程；測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測(cè)試儀特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能，zui大分類10類。
      探 頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭，以測(cè)試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；也有球形 鍍 金銅合金探針探頭，可測(cè)柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子 測(cè)試 夾具，還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。配探頭，也可測(cè)試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
      測(cè) 試臺(tái)選配：一般四探針法測(cè)試電阻率/方阻配SZT-A或SZT-B或SZT-C或SZT-F型測(cè)試臺(tái)。二探針法測(cè)試電阻率測(cè)試選SZT-K型測(cè)試臺(tái)， 也 可選配SZT-D型測(cè)試臺(tái)以測(cè)試半導(dǎo)體粉末電阻率，選配SZT-G型測(cè)試臺(tái)測(cè)試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測(cè)試臺(tái)的特點(diǎn)與選型參考》
儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對(duì)導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測(cè)試。 

基本技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率（括號(hào)內(nèi)為可向下拓展1個(gè)數(shù)量級(jí)）
    電    阻：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³  Ω,    分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω 
               （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³  Ω,    分辨率0.1×10-⁶ ～ 0.01×10³ Ω）
    電 阻 率：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³ Ω-cm   分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω-cm 
               （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³ Ω-cm  分辨率0.1×10^-6 ～ 0.01×10³ Ω-cm）
    方塊電阻：50.0×10^-6 ～ 1.0×10⁶ Ω/□    分辨率5.0×10^-6 ～ 0.5×10³  Ω/□  
               （5.0×10^-6 ～ 100.0×10³ Ω/□  分辨率0.5×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω/□）
2. 材料尺寸(由選配測(cè)試臺(tái)和測(cè)試方式?jīng)Q定) 
    直    徑： SZT-A圓測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15～130mm，手持方式不限
    SZT-B/C/F方測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式180mm×180mm，手持方式不限. 
     長(zhǎng)(高)度：  測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H≤100mm,    手持方式不限. 
     測(cè)量方位:  軸向、徑向均可
3. 量程劃分及誤差等級(jí) 

4.工作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W 
5.外形尺寸： 245mm（長(zhǎng)）×220 mm（寬）×95mm（高）  
   凈   重：≤1.5～2.0kg