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四探針測(cè)試儀 型KRTS-8型

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京卓樂(lè)康科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2015/11/24 17:00:00
  • 訪問(wèn)次數(shù) 276

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ZLKRTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
 
技 術(shù) 指 標(biāo) :
 

 測(cè)量范圍

 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 
 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 
 電阻:10-5~105 Ω; 

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái));
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái));
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒流源

 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1% ;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)

 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤5%

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5  秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí))。連接電腦使用時(shí)帶自動(dòng)測(cè)量功  能,自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程;

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃;
 相對(duì)濕度:≤65%;
 無(wú)高頻干擾;
 無(wú)強(qiáng)光直射;
 
配置

四探針測(cè)試儀主機(jī)、ZLKS-2A型探針臺(tái)、ZLKFT-201四探針探頭

17000/套
配置

四探針測(cè)試儀主機(jī)、ZLKS-2A型探針臺(tái)、ZLKFT-201四探針探頭、測(cè)試軟件(含測(cè)控模塊)

21000/套
配置

四探針測(cè)試儀主機(jī)、ZLKS-2A型探針臺(tái)、ZLKFT-201四探針探頭、臺(tái)式電腦

26000/套
配置

四探針測(cè)試儀主機(jī)、ZLKS-2A型探針臺(tái)、ZLKFT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦

35000/套
備注

用戶可按實(shí)際需要選擇配置,電腦可按用戶要求以市場(chǎng)價(jià)配置或自行購(gòu)置安裝測(cè)試軟件即可

 


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