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四探針測試儀

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四探針測試儀

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四探針測試儀 9100

LY.4-RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的,于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
  儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺使用。
  本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶多晶生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試,半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

 

技術(shù)指標(biāo)

 

 LY.4-RTS-2測量范圍

 電阻率:0.011999.9Ωcm 
 
方塊電阻:0.119999
Ω/MΩ;

 LY.4-RTS-2A測量范圍

 電阻率:0.001199.99Ωcm; 
 
方塊電阻:0.011999.9
Ω/MΩ;

LY.4-RTS-2恒流源

 電流量程分為100μA、1mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

LY.4-RTS-2A恒流源

 電流量程分為1mA、10mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 精度:±0.1%;
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo)

 間距:1±0.01mm
 針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
 機(jī)械游移率:≤0.3%;

 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:516牛頓總力;

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見探頭附帶的合格證

模擬電阻測量相對誤差
JJG508-87進(jìn)行

 1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1

整機(jī)測量zui大相對誤差

用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 5%

外型尺寸

 125mm()*145mm()*245mm(

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2℃;
 相對濕度:≤65%;
 無高頻干擾;
 無強(qiáng)光直射;


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