Ana的Ultrapure-100 超純水顆粒計數(shù)器
顆粒計數(shù)加上業(yè)界標準的TOC分析技術(shù)為電子制造業(yè)的去離子水設(shè)施監(jiān)測和清洗過程提供一體化方案
產(chǎn)品介紹
超純水(UPW)設(shè)施以及水清洗系統(tǒng)的顆粒監(jiān)視和控制, 對越來越多類型的制造工業(yè)愈來愈重要. 例如,諸如平板顯示器(FPD)和硬盤驅(qū)動器(HDD)部件的精密制造技術(shù)的改進要求能測出過程液體中小到0.1μm的污染物顆粒。
Ana的Ultrapure-100 超純水顆粒計數(shù)器提供去離子水應(yīng)用中0.1μm顆粒監(jiān)測的*集成化的方案. 無論您的要求是查找故障, 監(jiān)測, 或者是檢核水清洗系統(tǒng), 或者僅是在您工廠的UPW廠的重要場所進行監(jiān)測, 您會發(fā)現(xiàn)Ultrapure-100是您在線過程分析的一個有效且能承擔的補充儀器。
Ultrapure-100將所有的堅固的光-機械裝置, 計數(shù)和通信電子線路以及*的流量控制系統(tǒng)都結(jié)合在一臺儀器里并達到無可相比的性能. 在高液壓的應(yīng)用, 諸如去離子水設(shè)施監(jiān)測, 總的系統(tǒng)流速會超過1.0升/分鐘. 這樣就要求非?？斓那逑春突謴?fù)時間以及優(yōu)良的流量調(diào)節(jié), 甚至是在動態(tài)的檢測入口壓力下也如此。
Ultrapure-100是一套完整的系統(tǒng), 非常容易安裝并與您現(xiàn)有的設(shè)施監(jiān)測系統(tǒng)(FMS)或樓宇管理系統(tǒng)(BMS)結(jié)合起來.另外, Ultrapure-100能作為一臺單獨的儀器使用并能與許多軟件包兼容。
Ultrapure-100配套提供易于使用的基于Windows®的組態(tài)工具, 使安裝和系統(tǒng)集成快速和方便. 諸如數(shù)據(jù)通道數(shù)量, 采樣周期, 和4-20mA模擬輸出設(shè)置能根據(jù)特別要求快速組態(tài). 實時系統(tǒng)診斷保證日期完整性不會有問題. 標定*可追溯到NIST標準。
顆粒計數(shù)通常和總有機碳(TOC)測量互補, Ana是半導(dǎo)體和平板顯示器工業(yè)中TOC監(jiān)測的行業(yè)標準. Ana的TOC分析系統(tǒng)是由一系列模塊化組件組成,能按需組合用于任何水系統(tǒng). 現(xiàn)在, 有了顆粒計數(shù)后, Ana的儀器測量更進一步, 能保證增加您的高純水傳送系統(tǒng)的效率和產(chǎn)量。
主要性能
0.1和0.2μm標準顆粒尺寸
可在0.1至5.0μm范圍定制
4-20mA模擬輸出
高流速-清洗時間非?？?br />
一體化方案, 維護量小
優(yōu)良的流量調(diào)節(jié)-“設(shè)置完了就可不管了”
激光源診斷
可提供顆粒計數(shù)軟件
性能指標
粒徑通道(μm)0.1, 0.2
系統(tǒng)流速>1 升/分鐘
樣品流速100 毫升/分鐘 (樣品入口壓力調(diào)整到30至100 psi)
光源激光二極管
樣品入口壓力不超過100 psig (690 kPa)
不低于 7.0 psig
溫度工作 7至40℃
樣品 7至40℃
物理指標
電源90-260 VAC, 50/60 Hz
功耗不大于80VA (100V 時0.8A)
I/O接口模擬 光電隔離4-20mA 輸出,(標準2通道, 可選4通道)
RS-232 設(shè)置時用的串行口
電氣I/O連接在儀器的底部
顯示2通道或4通道的顆粒計數(shù)數(shù)據(jù)(用戶可選)
指示燈電源, 激光情況, 泄漏狀況
液體連接SS 1/4" Swagelok (樣品入口和出口)
外置流量計
外殼涂漆鋁殼
尺寸305mm 長 x 203mm 寬 x 190.5 mm 深(12" x 8" x 7.5")
相對濕度不超過90%, 不凝露
包含附件
包括電源裝置, 軟件設(shè)置應(yīng)用程序, 1/4"尼龍樣品和排放管
電源線, 操作員手冊
可選可選墻壁安裝支架, 數(shù)據(jù)趨勢軟件
