Park systems NX10
創(chuàng)新的功能滿足創(chuàng)新的工作

Park systems NX10
創(chuàng)新的功能滿足創(chuàng)新的工作

準(zhǔn)確成像, 無交叉耦合現(xiàn)象
- 業(yè)界的XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的柔性制導(dǎo)掃描器控制移動(dòng)
- zui低的平面偏移度，全程水平掃描時(shí)平面偏移量不超過1納米
- 垂直掃描器全程伸縮時(shí)，線性度優(yōu)于0.015%
- 優(yōu)化的水平掃描器ringing現(xiàn)象, 科學(xué)的正向sine-scan算法

準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式
- 業(yè)界的垂直掃描器，帶寬超過9kHz，探針垂直伺服響應(yīng)速度超過62mm/sec
- 在非接觸模式下zui快的掃描速度
- 極低的探針磨損，能夠保證長(zhǎng)時(shí)間的高質(zhì)量掃描
- 極低的樣品損傷

準(zhǔn)確測(cè)量，真正的樣品形貌
- 采用業(yè)界的低噪聲遲滯檢測(cè)器測(cè)量樣品形貌
- 業(yè)界的極小正反測(cè)量偏離量，小于0.15%
- 采用優(yōu)化的散熱部件，*地降低了系統(tǒng)熱漂移和遲滯現(xiàn)象
- 功能強(qiáng)大的*隔音罩，艙體內(nèi)部主動(dòng)控溫用戶工作效率
- 開放式的設(shè)計(jì)，方便更換探針和樣品
- 探針預(yù)定位裝夾設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)單便捷的測(cè)量激光調(diào)節(jié)過程，具有的自上至下的直觀觀察系統(tǒng)
- 創(chuàng)新的“十秒進(jìn)針”功能，探針可自動(dòng)高速完成進(jìn)針操作
- 24位數(shù)字電控箱，三組內(nèi)置鎖存放大器，具備Q-control和彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能
 
*　技術(shù)參數(shù)
 
XY掃描器

   閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器。

掃描范圍: 50 μm × 50 μm (可選 100 μm × 100 μm)
分辨率: 0.05 nm
定位檢測(cè)噪音: < 0.3 nm (帶寬: 1 kHz)
水平線性: < ２nm (over 40 μm scan)
 
Z掃描器
柔性引導(dǎo)高力度掃描器
掃描范圍: 15 μm (可選 30 μm)
分辨率: 0.015 nm
定位檢測(cè)噪音: 0.03 nm (帶寬: 1 kHz)
共振頻率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
 
光學(xué)系統(tǒng)
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng)
視場(chǎng): 480 × 360 μm (10× objective lens)
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
 
物鏡
10x (0.21 NA) 超長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(1 μm分辨率)
　20x (0.42 NA) 高分辨率長(zhǎng)工作范圍的鏡頭(0.6 μm 分辨率)
 
信號(hào)處理
ADC: 18個(gè)通道
         4 個(gè)高速 ADC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z掃描器定位傳感器的24-bit ADCs
DAC: 12 信道
         2 個(gè)高速 DAC 通道 (50 MSPS)
         X,Y和Z掃描器定位的20-bit DACs
zui大數(shù)據(jù)大小: 4096 x 4096 像素
  
集成功能
3個(gè)通道數(shù)字鎖相放大器

   熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)
   數(shù)碼Q控制

 
外部信號(hào)介入
20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias