CVI-1700系統(tǒng)由SGL-1700L真空管式爐，HQZ-Ⅳ混氣系統(tǒng)，真空壓強控制系統(tǒng)，尾氣冷凝收集處理系統(tǒng)等組成。CVI-1700系統(tǒng)真空泵采進口抗腐蝕隔膜真空泵，真空度可達到7.5x10-1Torr；可實現(xiàn)多路混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。

CVI-1700系統(tǒng)主要技術參數(shù)：

SGL-1700L

真空管式爐

雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫

日本技術真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

加熱元件采用優(yōu)質U型硅鉬棒，表面負荷高，大大提高了其使用壽命

機器電源

AC220V，50/60Hz；額定功率6KW

爐管

采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經久耐用，不易斷裂

尺寸：Φ80*/1000mm

剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區(qū)中心

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕

一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等

加熱系統(tǒng)

加熱元件：4根U型硅鉬棒

加熱區(qū)長度：280mm

恒溫區(qū)長度：100mm

工作溫度：≤1600℃

升溫速率：≤10℃/min

溫控系統(tǒng)

溫度控制采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、自整定功能

50段升降溫程序

測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶

恒溫精度：±1℃

超溫、斷偶故障警報及斷電保護

HQZ-Ⅳ

混氣系統(tǒng)

高精度質量流量計通過數(shù)據(jù)接口連接電腦，配置軟件實時人機交互界面

四通道質量流量控制，可同時通入四種不同氣體

內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

流量規(guī)格：0~30SLM

控制精度：±1.0％F.S

真空系統(tǒng)

采用德國LABOPORT小型抗腐蝕隔膜真空泵，可用于腐蝕性氣體和蒸汽介質

真空度可達7.5x10-1 Torr

可長時間連續(xù)工作，無須擔心泵因過熱保護而中止實驗

可選配真空表，實現(xiàn)對真空及壓力的調節(jié)控制

配置氣體尾氣處理系統(tǒng)

冷凝系統(tǒng)

采用低溫恒溫槽，zui低溫度可達-20℃

內置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便

槽內冷液可外引,冷卻機外實驗容器,也可在槽內直接進行低溫、恒溫實驗