Dimension 3100 SPM使用自動化的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡技術(shù)，可用來測量直徑可達200毫米的半導(dǎo)體硅片、刻蝕掩膜、磁介質(zhì)、CD/DVD、生物材料、光學(xué)材料和其它樣品的表面特性。它的激光點定位系統(tǒng)和無需工具改變掃描技術(shù)的能力保證了儀器的適用性、易操作性和高的數(shù)據(jù)處理能力。