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凈化工程 空氣凈化 無塵車間

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凈化工程 空氣凈化 無塵車間
凈化工程是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。此環(huán)境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。

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凈化工程 空氣凈化 無塵車間

一、作用

控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,是產品能在一個良好的環(huán)境空間中生產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。

凈化工程 空氣凈化 無塵車間

二、凈化工程中空氣凈化處理方案

凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應符合:初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端,高效空氣過濾的安裝方式應簡便可靠,宜檢漏和更換;中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一凈化車間內。

確定集中或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時,應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應選用管狀電加熱器,位置應布置在高效空氣過濾器的上風側,并應有防火安全措施。

送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

凈化工程中凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外,應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內的防灌倒措施。

凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風,凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或對其他工序有危害時,則不應用回風。

凈化工程 空氣凈化 無塵車間

凈化工程控制要求:

  1. 潔凈室中的溫濕度控制
  2. 氣壓規(guī)定
  3. 潔凈室中的氣流速度規(guī)定
  4. 噪聲控制


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