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Keithley 7011-S 矩陣卡

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Keithley 7011-S

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在切換電容時,測試頻率和寄生電容會產(chǎn)生影響。由于通常采用高頻(kHz~MHz范圍)測量電容,所以仔細(xì)選擇開關(guān)卡來避免帶寬限制引起的誤差很重要。必須通過開路和短路校準(zhǔn),由LCR測量儀來修正開關(guān)和電纜引入到系統(tǒng)中的電容。所以,了解LCR測量儀是否能夠進(jìn)行必要的修正非常重要。

在圖1中,Keithley 7011-S型1×10路選通卡將LCR測量儀連接到幾個未知電容器(C1~C8)。對于任意電容器的測量,必須閉合4個繼電器。4組開關(guān)的輸出被連接到LCR測量儀的4個輸入端子。

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圖1,利用7011-S卡測量電容。

7011-S能對多達(dá)10個電容器進(jìn)行4線連接。然而,兩組通道必須被用于進(jìn)行開路和短路校準(zhǔn),所以,系統(tǒng)多僅能測試8個電容器。在進(jìn)行開路校準(zhǔn)時,HI CURR和HI POT導(dǎo)線必須通過每組中的通道9連接在一起;LO CURR和LO POT測試線必須被連接在一起。在進(jìn)行短路校準(zhǔn)時,全部4根導(dǎo)線通過每組中的通道10連接在一起。

連接到未知電容器的4根同軸電纜的屏蔽被彼此連接在一起。為了獲得jia準(zhǔn)確度,應(yīng)該在靠近電容器處進(jìn)行連接。為簡單起見,在圖1中未繪制屏蔽。由于7011-S型卡上的空間限制,必須使用小型同軸電纜。所有通道的同軸電纜長度應(yīng)該大致相同。

對于7011-S型卡,測試頻率可高達(dá)100 kHz.該卡可切換的小未知電容大約為10pF。除受開關(guān)卡大電流額定值的限制外,沒有大電容限制。

圖中所示的系統(tǒng)可通過更多的7011-S開關(guān)卡方便地進(jìn)行擴(kuò)展。掃描儀主機(jī)的背板可連接每個開的相應(yīng)開關(guān)組。從所有開上拆下“背對背”跳線即可。當(dāng)通過增加開關(guān)卡擴(kuò)展系統(tǒng)時,大允許測試頻率將下降。在這類應(yīng)用中不建議使用7011-C型開關(guān)卡,其接線頭連接器引起的耦合會產(chǎn)生不可接受的誤差。

若要在1 MHz或更高頻率下測量電容器,使用RF開關(guān)卡就非常關(guān)鍵,例如7711型2 GHz 50Ω射頻模塊。7711型模塊由兩組1×4多路選通開關(guān)組成。如圖2所示,兩塊7711型模塊提供了4端連接,可連接一個4端電容橋,測試多2個電容器。一個模塊切換電容橋的HI端子,而第二個模塊切換LO端子。

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圖2,利用兩塊7711型模塊進(jìn)行高頻電容測量。

每組開關(guān)的第二個通道被連接到一個跳線,以便進(jìn)行短路校準(zhǔn)。當(dāng)沒有通道被選中時,每組開關(guān)的第yi個通道(常閉)被連接到一個輸出端口。如圖所示,通過將同軸電纜連接之所有的4個輸出端口,則可進(jìn)行開路校準(zhǔn)。此外,要注意這些電纜應(yīng)該與其它通道的電纜長度相同。

為了擴(kuò)展系統(tǒng)至可測試更多的電容器,就需要更多的開關(guān)模塊。由于每組開關(guān)的兩路輸入需被連接到另一個模塊的輸出,所以就可以用1×8多路選通開關(guān)代替1×4多路選通開關(guān)。該系統(tǒng)共有6塊7711型模塊,可測試多6個電容器。相似地,通過將兩個模塊連接為1×12多路選通開關(guān),用總共8個模塊即可測試多10個電容器。

圖3所示的系統(tǒng)可測量電容器的電容和漏流。在該圖中,請留意皮安計pA和LCR測量儀分別通過通道9和通道10連接到被測電容器的。7011-S開關(guān)卡上的輸出端口沒有連接。然而,輸出端口可用于增加更多的開關(guān)卡,增大總被測電容數(shù)量。

為了測量C1的漏流,必須首先閉合B組和C組的通道1和通道9,極化電容器。這將通過限流電阻R2將電壓源連接到電容器。經(jīng)過相應(yīng)的“保壓”時間后,閉合通道1/A組和通道9/A組,將皮安計連接到電容器,然后開路通道9/B組,以避免短路皮安計。一旦測得了漏流,在對電容器放電時,應(yīng)該首先開路通道9/A組和通道9/C組。然后閉合B組和D組上的通道9,這將在電容器C1兩端連接上電阻器R3。

注:開關(guān)卡上的所有“背對背”跳線必須全部拆除。為簡潔起見,省略了開路和短路通道。

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圖3,利用一塊7011-S卡測量電容和漏流。

二極管和電阻器R1與皮安計的輸入串聯(lián),其有兩個功能:第yi,電阻在電容發(fā)生短路時起到限流的作用;第二,在測量1nF或更大的電容器時,二極管將皮安計的噪聲降至低。該二極管是感光性的,因此應(yīng)與R1一起被安裝在一個不透光的靜電屏蔽套內(nèi)。

C1的電容值測量可首先開路B和D組開關(guān)的通道9,然后閉合A~D組的通道10.這樣將把LCR橋連接至電容器C1。在連接LCR橋之前,請確保所有的電容器均被放電。

該系統(tǒng)的成本相對較低,然而,存在幾項性能方面的限制:

大測試電壓為110 VDC。能夠以相當(dāng)?shù)臏?zhǔn)確度測量1 nA的漏流,因此可驗證100V/1nA或100 GΩ的電容漏阻。

LCR橋的測試頻率不宜高于100 kHz。

被測小電容大約為10pF。


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