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河南三離子束切割儀

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河南三離子束切割儀徠卡EM TIC 3X 適宜處理軟/硬復(fù)合、帶有孔縫結(jié)構(gòu)、熱敏感性、脆性及非均質(zhì)樣品,獲得樣品截面,從而進行掃描電子顯微鏡(SEM),微區(qū)分析(EDS,WDS,Auger,EBSD)及原子力顯微鏡或掃描探針顯微鏡(AFM,SPM)分析。

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河南三離子束切割儀產(chǎn)品介紹

Leica EM TIC 3X三離子束切割儀通過離子槍激發(fā)獲得的離子束,以垂直于樣品側(cè)面縱向轟擊樣品,可獲得高質(zhì)量無應(yīng)力“切割”截面,便于SEM觀察。

該處理方法適用于多層膜材料、軟硬復(fù)合材料等高難度制備樣品,并且操作簡單,可有效避免涂抹效應(yīng),不需要大量摸索條件即可獲得理想的截面,使樣品暴露內(nèi)部細微結(jié)構(gòu)信息。

徠卡eM Tic 3X在技術(shù)上超越了傳統(tǒng)的離子束拋光切割設(shè)備。它使用三離子束,并可裝配冷凍樣品臺和三樣品臺,可以高速率離子束轟擊樣品,得到寬且深的切割區(qū)域,獲得一個高質(zhì)量的平整的切割截面,幾乎適用于任何材料,整個樣品處理過程快速簡便。

 

河南三離子束切割儀技術(shù)參數(shù):

•  可容納zui大樣品尺寸50×50×10mm,可獲得有效切割截面面積>4mm×1mm

•  三把離子槍,離子束能量1keV-10keV,切割速率150µm/h (Si@10kV, 50µm切割高度)

•  離子束處理過程中樣品位置固定,無需偏轉(zhuǎn)運動,無投影效應(yīng),熱傳導(dǎo)性好

•  可進行離子束切割或刻蝕,可選擇任意離子槍

•  真空泵解耦合設(shè)計,無震動傳導(dǎo)

•  觸摸屏操作面板,直觀、簡易操作,可編程可軟件升級

•  可選配:液氮制冷冷臺-150°至 30°,25L液氮罐及自動泵,具有自動快速制冷功能

•  可選配:三樣品臺,可一次連續(xù)處理三個樣品


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