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Leica EM RES102徠卡多功能離子減薄儀

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徠卡多功能離子減薄儀Leica EM RES102 通過(guò)離子槍激發(fā)獲得離子束,以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,以去除樣品表面原子,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為:對(duì)無(wú)機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,使得薄片樣品可被透射電子穿過(guò),從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察;對(duì)無(wú)機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光、離子束刻蝕,樣品表面離子清洗及斜坡切割,便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品

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徠卡多功能離子減薄儀 Leica EM RES102的優(yōu)勢(shì)

主要技術(shù)參數(shù):

· 具有2把離子槍,離子束能量為0.8keV-10keV,相對(duì)位置,可分別±45°傾斜,樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°,離子束加工角度0°至90°,樣品

平面擺動(dòng)角度<360°,垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇(系統(tǒng)備有參考參數(shù),也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ))

· 可選配樣品臺(tái):TEM樣品臺(tái)(?3.0mm或?2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái),SEM樣品臺(tái),斜坡切割樣品臺(tái)(對(duì)樣品35°或90°斜坡切割)等

· SEM樣品臺(tái)可容納zui大樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm

· 全無(wú)油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,保證樣品交換時(shí)間<1分鐘

· 全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過(guò)程


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