*的樣品臺(tái)設(shè)計(jì)概念
飛納臺(tái)式掃描電鏡優(yōu)中心樣品杯采用*的設(shè)計(jì)，它包含了一個(gè)可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)中心傾斜和優(yōu)中心旋轉(zhuǎn)的子樣品臺(tái)。因?yàn)樵摌悠放_(tái)可以*整合到一個(gè)常規(guī)的飛納電鏡大樣品室版 Phenom XL 樣品杯中，從而可以在 1 分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)裝卸樣品。而且，它也不需要繁瑣、昂貴的升級(jí)。樣品臺(tái)的性能同樣十分*:樣品可以傾斜到 90° 角，之后仍然能夠進(jìn)行平移。優(yōu)中心樣品杯本身就具有 4 個(gè)馬達(dá)軸，再結(jié)合主樣品 臺(tái)的兩個(gè)馬達(dá)軸，用戶可以輕松實(shí)現(xiàn)樣品的升降，傾斜，旋轉(zhuǎn)和平移。
操作方式同樣*一格。優(yōu)中心樣品杯由一個(gè)全新的界面控制，以實(shí)時(shí)、可視的 3D 模型展現(xiàn)出來。這一模型能夠始終展示樣品的真實(shí)位置和朝向。在可視化模型中，導(dǎo)航相機(jī)（飛納電鏡大樣品室版 Phenom XL 標(biāo)配）可以拍攝樣品的原始圖片，所以樣品本身也是可視化的。終，無論是在腔室內(nèi)甚至是腔室外，用戶都可以靈活自主地選擇觀察位置。
除了 3D 可視化模型，用戶界面還內(nèi)置集成有防撞邏輯算法， 可以實(shí)現(xiàn)樣品臺(tái)移動(dòng)過程中無任何擔(dān)憂，確保了樣品和電鏡的安 全，從而也就不再需要傳統(tǒng)的光學(xué)相機(jī)和接觸探測器了。
操作界面可以幫助用戶輕松地移動(dòng)樣品。放入樣品后，借助界面內(nèi)旋鈕，可以快速尋找到樣品的優(yōu)中心高度。一旦高度合適，無需在 SEM 界面設(shè)置大量參數(shù)，即可輕松實(shí)現(xiàn)樣品的傾斜、平移和旋轉(zhuǎn)。
有大量的應(yīng)用案例表明樣品的傾斜和旋轉(zhuǎn)意義重大。傾斜或旋轉(zhuǎn)后，可以從不同角度來觀察樣品。這一點(diǎn)在許多案例中十分有用，比如測量樣品的深度、高度和厚度特征，檢查鍍層之間或零件之間的連接情況。在能譜元素分析中，傾斜功能也同樣十分有用。不平整樣品可以通過傾斜，使被分析面變得水平，從而提高能譜元素分析的準(zhǔn)確度。
可視化的 3D 模型能夠?qū)崟r(shí)觀察樣品及其位置
傾斜樣品在飛納電鏡大樣品室版 Phenom XL 中的操作界面視圖。所有保存圖片的元數(shù)據(jù)包含相關(guān)傾斜和旋轉(zhuǎn)角度
樣品傾斜
當(dāng)樣品傾斜后，目標(biāo)區(qū)域和焦距都發(fā)生了變化（見上圖），結(jié)果用戶看到的是樣品的另一個(gè)區(qū)域，再者聚焦情況也發(fā)生了變化，導(dǎo)致圖像模糊。利用優(yōu)中心樣品杯，樣品優(yōu)先移動(dòng)（在高 度和 XY 平面）來保持與機(jī)械傾斜軸*，這就是所謂的 “ 優(yōu)中心位置 ” 。當(dāng)用戶傾斜樣品時(shí)，觀察樣品的區(qū)域和位置都不 發(fā)生改變。
飛納臺(tái)式掃描電鏡優(yōu)中心樣品杯允許樣品傾斜 90°角，傾斜過程中用戶無需在電鏡設(shè)置界面改變大量參數(shù)。
樣品旋轉(zhuǎn)
當(dāng)樣品發(fā)生旋轉(zhuǎn)時(shí)，目標(biāo)觀察區(qū)域往往也會(huì)隨之移動(dòng)，用戶需要去調(diào)節(jié) (X,Y) 位置來重新找回觀察區(qū)域。
優(yōu)中心樣品杯可以使用戶在目標(biāo)觀察區(qū)域旋轉(zhuǎn)樣品，而且同樣適用于旋轉(zhuǎn)軸與觀察區(qū)域不*的情況，這就是 “ 優(yōu)中心旋轉(zhuǎn) ” 。優(yōu)中心樣品杯自動(dòng)運(yùn)用多馬達(dá)軸來保持 (X,Y) 位置不變，甚至當(dāng)樣品發(fā)生傾斜時(shí)，也能確保如此。
