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- 公司名稱 上海凱美特功能陶瓷技術(shù)有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 上海
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2019/7/22 15:42:33
- 訪問次數(shù) 408
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CVD化學(xué)氣相沉積爐由開啟式單(雙)溫區(qū)管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成。CVD化學(xué)氣相沉積爐可實現(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴散試驗。
主要功能和特點:
1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,真空可達0.001Pa;
2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制;
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用*Swagelok卡套連接,不漏氣;
5、超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠。
主要用途:
高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD/CVI實驗,特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。
主要技術(shù)參數(shù):
SKGL-1200 | 控溫方式 | 采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。 |
加熱元件 | 0Cr27Al7Mo2 | |
工作電源 | AC220V 50HZ/60HZ | |
額定功率 | 4KW | |
爐管尺寸 | Φ60/Φ80/Φ100*1000mm | |
工作溫度 | ≤1150℃ | |
MAX溫度 | 1200℃ | |
恒溫精度 | ±1℃ | |
加熱區(qū)長度 | 440mm或220mm/220mm | |
升溫速度 | ≤20℃/min | |
密封方式 | 不銹鋼快速法蘭擠壓密封 | |
ZK-F | 真空范圍 | 0.1-0.001Pa |
極限真空 | 4.0*10^-4Pa | |
產(chǎn)品配置 | 雙級旋片真空泵+分子泵 | |
測量方式 | 復(fù)合真空計 | |
真空規(guī)管 | 電阻規(guī)+電離規(guī) | |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | |
工作電源 | AC220V 50/60HZ | |
抽速 | 110L/S | |
ZDFC-Ⅲ | 測量范圍 | 5~1*10^-5 Pa |
穩(wěn)壓(真空)范圍 | 1~5*10^-3Pa | |
壓力(真空)穩(wěn)定精度) | ±3% | |
控制范圍 | 2.5*10^3~1*10^-4 Pa | |
控制精度 | ± 1% | |
HQZ-Ⅲ | 控制方式 | D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀 |
流量規(guī)格 | 0-500SCCM /0-1SLM,(可根據(jù)客戶需要配置) | |
線性 | ±1%F.S | |
準(zhǔn)確度 | ±1%F.S | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時間 | ≤2sec | |
耐壓 | 3MPa | |
氣路通道 | 3通道(根據(jù)客戶需求) | |
針閥 | 316不銹鋼 | |
管道 | Φ6mm不銹鋼管 | |
接口 | SwagelokΦ6mm |
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