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CKF-411 凈化型勻膠機

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凈化型勻膠機 型號CKF-411
片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。

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凈化型勻膠機 
 片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的設(shè)備 
設(shè)備中涂膠部分四個工位單片微型機控制四個工位同時工作或分別工作,即各工位的運轉(zhuǎn)單獨傳動,轉(zhuǎn)數(shù)單獨調(diào)節(jié)及單獨顯示。 
為保證在涂膠工藝中不飛片,設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個電磁閥,同時增加一個負(fù)壓儲氣罐,保證了吸片牢固和可靠性。 
設(shè)備中配有的空氣凈化裝置。 
主要技術(shù)指標(biāo): 
勻膠工位:1個工位 或者 4個工位 
勻膠時間:1-99秒 
勻膠轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分 
凈化效果:100級(美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)) 
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流() 
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 
外形尺寸:650x750x1620mm 
外體顏色:瓷白色 
1.控制范圍和精度:轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3% 


2.時間控制范圍為:1-99秒,精度為±5% 
3.轉(zhuǎn)速調(diào)整采用高精度D/A轉(zhuǎn)換,具有128級的精度調(diào)諧。 
4.轉(zhuǎn)速查看智能化。(自動識別哪個電機開或關(guān))自動轉(zhuǎn)換到開啟的電機上??捎柘冗x定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉(zhuǎn)速。 
5.采用*的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲器,可預(yù)存10組工藝參數(shù)(勻膠機A型機可予存10個延時時間,40個電機轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機可予存20個時間參數(shù),80個轉(zhuǎn)速參數(shù);顯影機可保存9個慢啟動參數(shù),30個時間,30個轉(zhuǎn)速參數(shù))。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動保存,簡化了操作。 
6.具有全自動智能控制功能,當(dāng)使用全自動方式時只需放好工件,然后按一下ATART(開始)鍵,吸盤自動打開,定時工作完成后延時6秒電機停穩(wěn)后自動關(guān)閉吸盤,喇叭鳴三聲,提示完成工作。7.定時的時間和轉(zhuǎn)速的測量全部由軟件控制,定時部分采用倒計時的方式顯示,轉(zhuǎn)速測量部分直接顯示被測電機的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制,去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機械電位器的機械觸點。在原基礎(chǔ)上增加了全自動功能,減少了操作程序,避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān),大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提了整機的可靠性和使用壽命。調(diào)整,啟動,切換,停止,并有提示音。

凈化型勻膠機 

 

 

 

 

產(chǎn)品名稱:高溫型干式恒溫器
產(chǎn)品型號:DH1004

高溫型干式恒溫器 型號:DH1004

DH100-4高溫型干式恒溫器采用微電腦控制,利用鋁材料作為導(dǎo)熱介質(zhì),以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的水浴裝置。具有使用方便、控溫范圍大、精度高等特點??蓮V泛應(yīng)用于樣品的保存和反應(yīng)、DNA擴(kuò)增和電泳的預(yù)變性、血清凝固等各類生化樣品恒溫孵育流程。 
 ◆實時顯溫度值顯示、倒計時顯示;  
◆ 自動故障檢測及報警功能;  
◆ 自帶溫度偏差校準(zhǔn)功能;  
◆ 便捷的模塊更換,便于清潔與消毒;  
◆ 內(nèi)置溫保護(hù)裝置; 
控溫范圍 室溫+5℃~130℃ 
控溫精度 ±0.5℃(@40℃) 
溫度均勻性 ±0.5℃ 
顯示精度 0.1℃ 
電源電壓 AC 220V 
外形尺寸 360*220*100 mm 

  
  
升溫時間 ≤20min (25℃至130℃) 
控溫精度 ±1℃(@120℃) 
定時范圍 1-99h59min/∞ 
模塊數(shù)量 4 
功率 600W 
重量 8.0KG

北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司

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