標準型烤膠機 型號：HP100-SE

高溫度可選），可實現(xiàn)控溫在±0.5℃以內(nèi)，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作。HP100-SE且?guī)в薪咏Ｊ?/p>

標準型烤膠機  

 高溫度可選），可實現(xiàn)控溫在±0.5℃以內(nèi)，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫操作。HP100-SE且?guī)в薪咏Ｊ娇灸z的頂升功能，方便精確計時，方便上下片拿取，頂升功能能夠進行5步編程，可存貯100組頂升烤膠程序。  

產(chǎn)品性能參數(shù)： 
　　 設(shè)置溫度　　　　 300℃ 
　　溫度分辨率　　　　 　0.1℃ 
　  設(shè)置時間　　　 　100,000S 
　　時間分辨率　　　　 　0.1S 
　　頂升調(diào)節(jié)距離　　　 　30mm 
頂升分辨率　　 0.1mm 
加熱功率　　　　　 　1000W 
　　重量　　　　　　 　　25Kg 
產(chǎn)品特點介紹： 
　 ●　加熱板面積220mm*220mm，適合8"圓晶尺寸； 
　●　陽硬質(zhì)氧化鋁面板或鍍特氟龍耐腐蝕不粘面板； 
　●　帶頂升功能，可實現(xiàn)接近模式加熱烤膠； 
　●　程控準確計時，精確控溫，頂升高度可調(diào)； 
　●　七寸全彩觸摸屏操作，全不銹鋼機身，經(jīng)久耐用； 
　●　特殊的隔熱設(shè)計和長壽命、高均勻性發(fā)熱部件采用； 
　●　可編輯存貯100組，每組5步用戶烤膠程序； 
　●　帶熱輻射保護蓋，更高的烤膠均勻性。 
產(chǎn)品外型尺寸： 
450(D)*300(w)*295(H)

標準型烤膠機  

產(chǎn)品名稱：勻膠顯影機 產(chǎn)品型號：SC100-DE

勻膠顯影機 型號：SC100-DE
　　SC100-DE勻膠顯影機是一種既可用于精密勻膠操作，又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備，它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備（track）的上才可能達到穩(wěn)定性和均勻性。 

　　不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng)，采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序，使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中*的大達到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度，確保勻膠和顯影的穩(wěn)定性和高的可重復(fù)性。 
主要性能指標： 
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒  
轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）  
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）  
馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm  
工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-200mm（8“圓晶）  
標準配置兩路噴液系統(tǒng)（顯影液和去離子水） 



產(chǎn)品特性優(yōu)點： 
主機在SC100-SE勻膠機上升級，增加耐腐蝕高分子材料防濺式罩蓋 

全程序編輯功能，更方便的智能化操作，更好的顯影/清洗效果  
可實現(xiàn)多獨立四路噴液用于顯影/清洗工作，或進行氮氣吹干  
控制器可實現(xiàn)程序自動控制噴液或進行手動操作，使用更加方便 

顯影系統(tǒng)可進行噴霧式、柱流式多種選擇，視要求進行配置  
提供客戶定制化的顯影系統(tǒng)配置和工裝設(shè)計  
高可靠性和重復(fù)性，高轉(zhuǎn)速精度和更高轉(zhuǎn)速可選  
可添加去邊膠和背膠清洗功能