Nano analytik研發(fā)了一款基于新型掃描探針顯微鏡針尖的離子注入系統(tǒng)。單離子注入（SII）利用探針懸臂上緊鄰針尖的小孔（小于 50nm）并結(jié)合掃描探針的精確定位，完成具有高度空間分辨率的單離子注入。應(yīng)用此項技術(shù)可以制備納米尺度的功能器件，例如可用于量子計算機的單電子晶體管。

Nano analytik公司成立于2010年4月，技術(shù)源自德國伊爾梅瑙科技大學(xué)，公司的核心競爭力在于傳感器、微系統(tǒng)和控制技術(shù)，公司宗旨是讓納米分析技術(shù)簡單化，在保證科研嚴(yán)謹(jǐn)性的同時提高科研效率。

Nano analytik研發(fā)了一款基于新型掃描探針顯微鏡針尖的離子注入系統(tǒng)。單離子注入(SII)利用探針懸臂上緊鄰針尖的小孔（小于 50nm）并結(jié)合掃描探針的精確定位，完成具有高度空間分辨率的單離子注入。應(yīng)用此項技術(shù)可以制備納米尺度的功能器件，例如可用于量子計算機的單電子晶體管。

單離子注入(SII)

單離子注入(SII)技術(shù)特點：

• 精確定位定量離子注入

• 針尖懸臂上的小孔小于50nm

• 錐形電場稀釋和準(zhǔn)直離子束

• 橫向電場形成離子閘門

單離子注入(SII)應(yīng)用領(lǐng)域：

• 功能材料定位摻雜

• 納米尺度器件制備

• 固態(tài)量子計算機

工作原理示意圖（納米漏斗）

氮離子注入金剛石色心

場效應(yīng)器件驗證離子注入

掃描探針懸臂梁，掃描針尖及緊鄰的小孔（50nm）

區(qū)域定位單離子注入 V.S. 隨機摻雜

1.8nm單電子晶體管
2017年4月 歐盟科研項目
室溫量子效應(yīng)（庫倫阻塞）