鋨等離子鍍膜機(jī) （OPC） 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設(shè)備。OPC 采用了全新的四yang化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問(wèn)題。

鋨等離子鍍膜機(jī) (OPC) 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設(shè)備。OPC 采用了全新的四yang化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問(wèn)題。

鋨等離子鍍膜機(jī) (OPC) 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，用于給 SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電薄膜或是給 TEM 樣品鍍支持膜。鍍膜厚度從幾納米到幾百納米，甚至是 1 納米以下的超薄膜。

OPC60A 標(biāo)準(zhǔn)型

可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜

• 陰極樣品臺(tái)尺寸：直徑 60mm，以下任選其一：
  兼容直徑 10mmSEM 樣品托，7 孔位
  兼容直徑 15mmSEM 樣品托，4 孔位
  兼容直徑 36mmSEM 樣品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜和萘膜

• 可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜和萘膜

• 可同時(shí)容納 2 個(gè)直徑 10mm 的 SEM 樣品托，2 個(gè)直徑 15mm 的 樣品托，以及 1 個(gè)直徑 32mm 的樣品托

鋨存儲(chǔ)器

鋨存儲(chǔ)器帶觀察窗，可確定鋨的剩余量。

存儲(chǔ)器可單獨(dú)取下并密封（冷凍保存），可保存較長(zhǎng)時(shí)間，安全性很高。

應(yīng)用：

• SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電膜

• TEM（FIB）樣品鍍保護(hù)膜

• AFM 樣品鍍保護(hù)膜

• STM 樣品鍍保護(hù)膜以及導(dǎo)電膜

• TEM 樣品鍍支持膜

產(chǎn)品特點(diǎn)：

設(shè)備性能

• 自動(dòng)化控制，鍍膜時(shí)只需設(shè)定薄膜厚度，鍍膜過(guò)程自動(dòng)完成

• 鋨存儲(chǔ)器可拆卸：具有密封式結(jié)構(gòu)，可冷凍保存

• 鍍膜時(shí)間短：只需幾秒鐘膜厚就可以達(dá)到納米級(jí)

• 裝有互鎖回路：一但 OsO4 氣體進(jìn)入腔體，真空不達(dá)標(biāo)，腔體就無(wú)法打開

鋨導(dǎo)電薄膜性能

• 無(wú)顆粒：用 OPC 鍍的鋨導(dǎo)電金屬膜是*無(wú)定形的

• 鋨膜均勻性*

• 無(wú)熱損傷：相比于熱蒸鍍和離子濺射，OPC 對(duì)樣品沒有熱損傷

• 無(wú)電子損傷：鋨膜硬度高、熔點(diǎn)高，不會(huì)因強(qiáng)電子束流受損傷

• 無(wú)污染：樣品在陰極，表面只有鋨陽(yáng)離子，可以保證無(wú)污染

等離子體聚合萘膜性能

• 堅(jiān)韌性：薄膜具有堅(jiān)韌性，可承受 FIB 中的鎵離子

• 抗熱性

• 絕緣性

• 無(wú)顆粒

• 高均勻性

• 無(wú)熱損傷

• 無(wú)電子損傷

產(chǎn)品參數(shù)：