SPECEI-2000是一款應(yīng)用橢圓偏光原理的臺式薄膜測量系統(tǒng)，適用于平面多層膜厚測量，如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測量光的多層反射，除了強(qiáng)度之外，也可以測量相對的相位和振幅變化，利用這種技術(shù)可以同時(shí)對多種參數(shù)進(jìn)行測量。

和常規(guī)橢偏儀相比，SPECEI-2000橢偏儀要便宜一半左右，并且還具有以下特點(diǎn)，系統(tǒng)集成了光源、導(dǎo)光器件，可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件，其光源入射角設(shè)定在70°，但用戶可根據(jù)需要設(shè)定為65到75°，整套儀器想當(dāng)小巧，尺寸僅為52cm*33cm*24cm。

SPECEI-2000橢偏儀的特點(diǎn)：

膜厚準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
可測量多達(dá)25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um，450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm，光學(xué)分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量，如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項(xiàng)包括2D位移功能，標(biāo)準(zhǔn)晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲(chǔ)和載入不同的測量組合模式

SPECEI-2000橢偏儀的技術(shù)指標(biāo)：