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Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京燕京電子有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2020/3/25 15:55:03
  • 訪問次數(shù) 1044

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SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統(tǒng),被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。
SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩,多可配備四路噴淋系統(tǒng),包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括:噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。

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Best tools 勻膠顯影一體機 SC100D

圖片

 

簡介

SC100D勻膠顯影機是在SC100標準型勻膠機的基礎上增加了顯影系統(tǒng),被設計為用來處理小片至8英寸晶圓尺寸基板或7英寸方形基板的勻膠及顯影。

SC100D在SC100勻膠機上增加了顯影液防濺罩,多可配備四路噴淋系統(tǒng),包括顯影液和去離子水等,以及滿足客戶其他工藝要求的試劑。每一路自動噴液系統(tǒng)包括:噴嘴、噴嘴支架、氣體控制閥、控制器、壓力桶和配套連接管路等部件。

SC100D使用工業(yè)級伺服馬達和高級PLC控制,7寸全彩觸屏人機操作界面。設計結構緊湊、簡單易用,可進行程控操作,具有優(yōu)異的性價比。

規(guī)格參數(shù)

 

功能圖解

 

應用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

MEMS器件加工


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