真空井式坩堝爐
本設(shè)備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用于煅燒真空或惰性氣體保護(hù)下的高純度化合物或擴(kuò)散半導(dǎo)體晶片，也可用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料。
型號 HYJL1200 HYJL1400 HYJL1700
工作溫度 ＞1200℃ ＞1400℃ ＞1700℃
加熱元件 電阻絲 硅碳棒 硅鉬棒
熱電偶 K型 S型 B型
控溫方式 30段可編程自動(dòng)控制，PID調(diào)節(jié)控溫精度
升溫速率 0-10℃ 0-20℃
控溫精度 ±1℃
大真空度 -0.1MPa
爐膛材料 陶瓷纖維板
爐殼 雙層爐殼，風(fēng)冷結(jié)構(gòu)（爐底安裝兩個(gè)散熱風(fēng)扇），爐殼表面溫度低于60度
額定功率 1KW—8KW
常用爐膛尺寸 Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm, Φ120xH300mm Φ300xH300mm
三、溫控程序曲線示意圖（六段為例）：
四、溫控程序?qū)?yīng)符號及其意義：
提示符 輸入數(shù)據(jù) 意義
C 01 0 起始溫度值
t 01 60 從0~300℃的升值時(shí)間為60分鐘
C 02 300 目標(biāo)溫度值
t 02 10 300℃保溫時(shí)間10分鐘
C 03 300 第二個(gè)目標(biāo)溫度值
t 03 240 從300~1500℃的升值時(shí)間為240分鐘
C 04 1500 第三個(gè)目標(biāo)溫度值
t 04 30 1500℃恒溫時(shí)間10分鐘
C 05 1500 第四個(gè)目標(biāo)溫度值
t 05 260 從1500~200℃的升值時(shí)間為260分鐘
C 06 200 第五個(gè)目標(biāo)溫度值
t 06 －121 程序運(yùn)行結(jié)束，自然降溫
五、常見故障及故障排除
故障現(xiàn)象 故障原因 排除方法
打開控制電源開關(guān)Lock無電源指示 控制線路FU1 4A保險(xiǎn)絲斷 檢查有無短路排除后更換保險(xiǎn)絲
綠色Power指示燈滅，紅色Open circuit指示燈亮。 主電路FU2 32A保險(xiǎn)絲斷 檢查有無短路排除后更換保險(xiǎn)絲
電壓 大，無電流。 硅鉬棒斷裂 更換硅鉬棒
儀表SV交替顯示OraL 熱電偶斷路 更換熱電偶
儀表SV交替顯示HIAL 爐體超過上限溫度1700℃儀表起保護(hù) 溫度降至安全溫度后儀表自動(dòng)恢復(fù)正常（檢查超溫原因）
電源及硅鉬棒都正常，但爐體不能升溫 控制線路損壞 通知專業(yè)維修人員。
