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RCA清洗機(jī)

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RCA清洗機(jī) 主要由兩只石英加熱缸,兩套溫度控制系統(tǒng)(石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定),兩只快速噴淋排水槽(QDR),兩套噴淋控制系統(tǒng),一只氫氟槽,一只一階溢流槽,一只三階溢流槽,兩套吸酸排放器等構(gòu)成。

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RCA清洗機(jī)概述:主要由兩只石英加熱缸,兩套溫度控制系統(tǒng)(石英缸數(shù)量可根據(jù)客戶要求而定),兩只快速噴淋排水槽(QDR),兩套噴淋控制系統(tǒng),一只氫氟槽,一只一階溢流槽,一只三階溢流槽,兩套吸酸排放器等構(gòu)成。
技術(shù)特點(diǎn)

大可清洗片子尺寸:Φ300mm。 
槽體數(shù)量可根據(jù)用戶工藝要求配置。 
清洗槽加熱溫度可達(dá)200℃。 
快速排放沖洗槽排放,沖洗次數(shù)可設(shè)置。
槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒,或雙片盒結(jié)構(gòu)。 
槽內(nèi)傳輸有手動(dòng)、自動(dòng)方式可選。 
可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。 
 具有故障提示,報(bào)警等功能。

RCA清洗機(jī)
主要技術(shù)指標(biāo)

□ 去離子水壓力:0.25~0.3Mpa 
□ 排水口:Φ60mm 
□ 酸液排放口:1/2″PFA管 
□ 氮?dú)鈮毫Γ?.25~0.3MPa 
□ 氮?dú)饨涌诠軓剑?/8″PE管 
□ 壓縮空氣壓力:0.25~0.3 Mpa 
□ 壓縮空氣接口:3/8″PE管 
□ 電源:AC380V±AC38V (三相五線)

 

山東聯(lián)超電子設(shè)備有限公司

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