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》垂直量程1mm、相應(yīng)分辨率16nm
》可完成全程200mm的測量
》0.50um/ 120mm直線度
》>以橫向數(shù)據(jù)點(diǎn)間距為0.125μm進(jìn)行數(shù)據(jù)記錄
》450mm的驅(qū)動箱45°橫向機(jī)械傾斜

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