硅片超聲波清洗機(jī)用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序?yàn)榧兯逑础?清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。

硅片超聲波清洗機(jī)概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序?yàn)榧兯逑础?清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性*達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平，但價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進(jìn)口設(shè)備*的。

硅片超聲波清洗機(jī)主要特點(diǎn)：

采用進(jìn)口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強(qiáng)勁，性能穩(wěn)定。

超聲波清洗原理：

由超聲波發(fā)生器所發(fā)出的高頻超聲振蕩信號(hào)，通過(guò)換能器轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)振蕩而傳播到介質(zhì)—清洗溶劑中，利用超聲波在清洗溶劑中的“空化作用”，使液體流動(dòng)而產(chǎn)生數(shù)以萬(wàn)計(jì)的小氣泡，這些氣泡在超聲波縱向傳播成的負(fù)壓區(qū)形成、生長(zhǎng)，而在正壓區(qū)迅速破裂，就是在這種被稱為“空化”效應(yīng)的過(guò)程中氣泡破裂產(chǎn)生超過(guò)1000個(gè)大氣壓的瞬間高壓，連續(xù)不斷產(chǎn)生的瞬間高壓產(chǎn)生一串小“爆炸”不斷地沖擊被清洗物體的表面，孔隙、縫道，使物體表面及縫隙中的污垢迅速剝落，從而達(dá)到被清洗物件凈化的目的。因此利用超聲波清洗質(zhì)量好、速度快。對(duì)一般常規(guī)清洗方法，可達(dá)到清潔度要求，尤其對(duì)幾何形狀比較復(fù)雜，帶有各種小孔，彎孔和盲孔等被清洗物件，采用超聲波清洗的潔凈效果更為明顯。