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SPS 光刻機 POLOS µ

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該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

可以以微米分 辨率生成任何2D形狀，而無需硬掩模

詳細信息 在線詢價

產(chǎn)品概述

主要特點：

1、寫入分辨率低至2 μm
2、可調(diào)整的寫作領(lǐng)域和具有可互換目標的解決方案
3、與CAD文件或位圖圖像兼容
4、與g線光刻膠兼容
5、兼容多種基材（硅，玻璃，金屬，塑料等）
6、兼容任何樣品尺寸達4英寸的晶片
7、相機反饋以進行對準步驟
8、由于沒有硬掩模，節(jié)省了時間和金錢
9、將設(shè)計直接覆蓋在樣品上的直觀對齊方法
10、占地面積小的桌面
11、非常適合微電子，2D材料，微流體，光電，opty或任何其他2D微加工應用的技術(shù)

技術(shù)參數(shù)

1、光源曝光：435 nm； 對準：525 nm
2、小特征尺寸：2至23 μm可調(diào)
3、對準分辨率：低至1 μm / cm2
4、大曝光面積：75 x75 mm2
5、基板尺寸：大4”晶圓
6、系統(tǒng)尺寸：W：（36厘米）； D：（36厘米）; 高：（60厘米）
7、多合一PC：Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint軟件：機器控制，步進重復，自動劑量測試，縫合，對齊
9、SFTconverter：將標準格式（gdsii，dxf，cif，oas）轉(zhuǎn)換為位圖圖像。 隨附的CAD軟件

上海跡亞國際商貿(mào)有限公司

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