VDP6800霍爾效應(yīng)測(cè)試儀
儀器簡(jiǎn)介:
中國(guó)臺(tái)灣智果公司VDP6800霍爾效應(yīng)測(cè)試儀為性能穩(wěn)定、功能強(qiáng)大、性價(jià)比高的霍爾效應(yīng)儀,在國(guó)內(nèi)高校、研究所及半導(dǎo)體業(yè)界擁有廣泛的用戶和度。
霍爾效應(yīng)測(cè)試儀輕巧方便,易于攜帶,主要用于量測(cè)電子材料之重要特性參數(shù),如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等,薄膜或體材料均可,其原理主要依據(jù)范德堡法則。
除了用來(lái)判斷半導(dǎo)體材料之型態(tài)(n或p)以外,它也可應(yīng)用于LED磊晶層的質(zhì)量判定,也可以用來(lái)判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成,此未還可以用于太陽(yáng)能電池片的制程輔助。 可說是一套功能強(qiáng)大、應(yīng)用廣泛的系統(tǒng),再加上平實(shí)的價(jià)格, 相信必能受到各界用戶之肯定與愛用。
共有三種配置: 常溫;常溫+低溫;常溫+低溫+四點(diǎn)探針系統(tǒng)。
目前廣泛應(yīng)有于大學(xué),研究所和半導(dǎo)體廠商。
技術(shù)參數(shù):
磁場(chǎng)強(qiáng)度:0.65T;
常溫和液氮溫度(77K)下測(cè)量;
輸出電流:2nA-100mA;
遷移率(cm2/Volt-sec): 1~107
電阻率(Ohms.cm): 10-5 to 107
載流子濃度(cm-3): 107~1021 (cm-3)
樣品夾具: VDP6800彈簧樣品夾具(免去制作霍爾樣品的麻煩);
測(cè)量材料:所有半導(dǎo)體材料包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可測(cè)量)
主要特點(diǎn):
1、高精密度電流源
輸出電流之精確度可達(dá)2nA,如此微小之電流可用于半絕緣材料之量測(cè),即高電阻值材料之量測(cè)。
2、高精密度電表
使用超高精度電表,電壓量測(cè)能力可達(dá)nV等級(jí),上限可達(dá)300V,極適合用于量測(cè)低電阻值材料。
3、外型精簡(jiǎn)、操作簡(jiǎn)單
外型輕巧、美觀大方,磁鐵組之極性更換也很靈活容易,*之液氮容器設(shè)計(jì),可確保低溫量測(cè)之穩(wěn)定性。
4、I-V曲線
采用圖表的方式,測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓曲線,藉此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞。
5、單純好用之操作畫面
使用者只需在同一張操作畫面中,就可以完成所有的設(shè)定,實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,并在同一張畫面中顯示出來(lái),省卻畫面切換的麻煩,結(jié)果可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、等重要實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。
6、自行開發(fā)之彈簧樣品夾具,特殊設(shè)計(jì)之彈簧探針,其強(qiáng)度加強(qiáng)可改善探針與接觸點(diǎn)之電氣接觸,提高量測(cè)之可靠度。
7、可集成四點(diǎn)探針
應(yīng)用領(lǐng)域:
所有半導(dǎo)體材料,包括Si,ZnO,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN(N型&P型均可測(cè)量)
典型用戶
采購(gòu)單位名稱 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
中科院物理所 | 半導(dǎo)體薄膜 |
復(fù)旦大學(xué) | 半導(dǎo)體薄膜 |
貴州大學(xué) | 半導(dǎo)體薄膜 |