Hprobe應用方向

■ 磁性隧道結(jié)

■ 磁隨機存取存儲器

■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)

■ 智能傳感器

Hprobe探針臺產(chǎn)品特點

■ 可以用于100~300mm晶圓

■ 提供大的面內(nèi)和垂直磁場

■ 磁場定向和旋轉(zhuǎn)的三維控制

■ 快速掃描能力

■ 嵌入式傳感器校準

■ 自動測試程序

■ MRAM和傳感器參數(shù)提取軟件

■ 與標準探針卡兼容

■ 快速掃場能力

Hprobe探針臺技術(shù)原理

探針臺采用*的三維磁場發(fā)生器，每個磁場空間軸獨立驅(qū)動。利用這3個自由度，用戶可以在任意空間方向應用和控制場，也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件，測試程序和磁鐵校準工具包。

三維磁發(fā)生器置于探針臺頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應器件測試設計，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。

Hprobe探針臺基本參數(shù)

Hprobe探針臺儀器配置

Hprobe探針臺配備整套儀器驅(qū)動和測量大多數(shù)磁性器件，如MRAM (STT、SOT、電壓控制)、傳感器(AMR、GMR、TMR)和磁性MEMS。儀器可以包括源表和測量單元（SMU）、數(shù)字萬用表（DMM）、任意波形發(fā)生器（AWG）、脈沖發(fā)生器（PG）、交換矩陣、數(shù)據(jù)采集板等。其他儀器可根據(jù)要求提供，并且可以很容易地集成到工具的硬件和軟件中。

探針卡

Hprobe探針臺使用非常靈活，用戶可以使用標準的商用探針卡，也可以使用帶有DC和RF探頭的微操作器。

測試程序

該測試程序包含了所有滿足用戶需求的功能，從器件表征到產(chǎn)品開發(fā)，以及轉(zhuǎn)移至生產(chǎn)等。它以三種模式運行：

☆ 標定模式–設置磁場配置并創(chuàng)建用戶定義的圖形

☆ 工程模式 –運行預執(zhí)行的測試圖形或創(chuàng)建并運行完整的自定義特性和測試

☆ 產(chǎn)品模式 –從工程模式中設置具有優(yōu)化測試時間的測試程序

預先實現(xiàn)的測試模式包括(有或沒有磁場)：