1、設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s。 2、樣品可采用真空吸附的方式進(jìn)行固定,也可采用粘結(jié)或夾持的方式進(jìn)行固定,操作簡(jiǎn)便。 3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。 4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。 6、電機(jī)采用24V直流無(wú)刷電機(jī),無(wú)級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 7、當(dāng)用真空吸附方式固定樣品時(shí)采用無(wú)油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。 8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層 9、可在真空狀態(tài)下進(jìn)行涂層,此時(shí)需要用粘接基片或夾持基片的方式對(duì)被涂基片進(jìn)行固定。 10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長(zhǎng),提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開(kāi)裂性能。 11、全英文操作系統(tǒng)。 12、具有開(kāi)蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過(guò)程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開(kāi)上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止. 13、控制器采用控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。 |