VTC-200-4P噴霧旋轉涂覆機,勻膠機
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- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2020/10/26 21:11:08
- 訪問次數(shù) 408
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產(chǎn)品簡介:VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂膜機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater主要用于半導體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝,是一款上蓋可以加熱的勻膠機、顯影機,在勻膠或顯影過程結束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上,使溶液在樣片表面均勻分布,有利于薄膜和顯影過程的順利進行。本機電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源進行控制,電機調速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,轉數(shù)在100-2000RPM范圍內可調。涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要進行設置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、甩膠機、旋涂儀、顯影機、spin coater啟動快速、轉數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對于樣件的固定,采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板,不僅樣件取放自如,而且操作簡便。此外,在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。
產(chǎn)品型號 | VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉涂覆機、勻膠機、顯影機、甩膠機、旋涂儀、spin coater
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安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有進出水口 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。 3、氣:不需要 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上 5、通風裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件,不僅樣件取放自如,而且操作簡便;橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進行定制。 2、該機上蓋具有紅外加熱功能,可以使溫度保持在一個穩(wěn)定值。 3、本機上蓋具有4組噴嘴,可使膠體以霧狀噴在樣片表面,使薄膜更均勻。 4、電機部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨立電源的方式,電機調速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠,轉數(shù)在100-2000RPM內可調。 5、涂膜機在工作時設有兩個階段,在啟動前根據(jù)實際需要,可分別進行時間1、轉速1、時間2、轉速2的設置。設置完成啟動后,涂膜機先以轉速1在時間1時間內運轉,使涂膜物質逐漸分散開。當時間1時間結束時,涂膜機自動進入時間2時間階段運轉,使涂膜物質更加均勻。 6、噴霧旋轉涂覆機啟動快速、轉數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。 7、在安裝結構上,采取了減震措施,降低運轉時的噪音。 8、腔體采用聚丙烯材質,使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優(yōu)異的抗應力開裂性能;機身采用鑄鋁結構,結實耐用且質輕。 | ||
技術參數(shù) | 1、電源:AC220/110V、50/60Hz 2、電機功率:功率210W 3、雙轉速涂膜功能:雙轉速及涂膜時間分別設置,在啟動后先低速運轉(滴涂膠液),然后自動轉換到高速運轉(勻膠)。轉速穩(wěn)定(±1%),涂膜物質均勻。 轉數(shù)1:100-2000 RPM有效 時間1:1--200s有效 轉數(shù)2:100-2000 RPM有效 時間2:1--200s有效 4、適用于Φ153mm樣件涂膜。 5、上蓋加熱溫度范圍:0-100℃。 6、環(huán)境溫度5-40℃,相對濕度不大于85%RH,設備周圍無強烈震源和腐蝕氣體影響。 | ||
規(guī)格尺寸 | 主機外形尺寸500mm(長)×410mm(寬)×330mm(高),重量24Kg。 | ||
標準配件 | 1 | 磁性鋼片模板(Ф160mm) | 1件 |
2 | 吸盤(Ф153mm) | 1件 | |
3 | 溫控箱 | 1臺 | |
4 | 蠕動泵 | 6臺 | |
可選配件 | 橡膠吸盤 磁力鋼片模板(可定制) |
相關產(chǎn)品 | 移液器 | BD-10ml注液器
| BD-50ml注液器
| EQ-500SP*
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ComBi-D3涂鍍層測厚儀
| 薄膜厚度測量系統(tǒng)TF200
| TFMS-LD反射光譜薄膜測厚儀
| SGC-10薄膜測厚儀 |
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