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GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等)和小分子的有機(jī)物。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟,每個(gè)加熱舟都可獨(dú)立進(jìn)行蒸鍍,加熱舟上方有一個(gè)可旋轉(zhuǎn)擋板,當(dāng)其中一個(gè)加熱舟進(jìn)行蒸鍍時(shí)擋板將其它三個(gè)鎢舟遮住,以防蒸鍍材料之間相互污染。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價(jià)比較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀腔底部配有5個(gè)水冷電極,在工作過(guò)程中可有效保護(hù)電極溫度不會(huì)因溫度過(guò)高而熔化,進(jìn)而損壞電極。該機(jī)采用金屬腔室,具有*的真空度,真空度可達(dá)到5.0×10-7torr,樣品臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行加熱,加熱溫度為室溫-500℃,是進(jìn)行高真空蒸發(fā)鍍膜的設(shè)備。

產(chǎn)品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、工作臺(tái):落地式,占地面積2m2以上。

4、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。

2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。

3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥(直接與前級(jí)機(jī)械泵相連,提高效率)、1個(gè)CF150閘板閥(直接與分子泵相連)、1個(gè)KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、6個(gè)CF35法蘭(1個(gè)安裝電離規(guī),1個(gè)安裝2芯電極,1個(gè)安裝膜厚儀)
3個(gè)備用。

4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極,可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。

5、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。

6、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀,膜厚測(cè)量分辨率(鋁)為0.1Å。

7、可使用循環(huán)水冷機(jī)。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入:?jiǎn)蜗郃C220V,50Hz/60Hz,功率<2.16KW(不含真空泵)

2、蒸發(fā)輸出:電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào),極限蒸發(fā)電流200A,極限蒸發(fā)功率<1.6KW

3、真空腔:Ø300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

4、觀察窗:Ø100mm,采用密封圈密封

5、真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s

6、真空度:8.0x10-4Pa

7、極限真空8.0x10-5Pa

8、漏率:6.7×10-8Pa·L/S

9、樣品臺(tái):φ120

10、蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距:150-210mm

11、冷卻水需量:15L/min

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:900mm×1100mm×1800mm;重量:230kg


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