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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

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公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì) $CompanyTypeName
更新時間 2020/10/27 1:27:18
訪問次數(shù) 247

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

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產(chǎn)品簡介：EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結(jié)合*的頻率測量技術(shù)，進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中，用于對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實(shí)時速率可以輸出PWM（脈沖寬度調(diào)制）模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制，從而檢測所制備薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間，原理簡單，操作方便，尤其適合于實(shí)驗(yàn)室中薄膜制備過程的使用。

產(chǎn)品名稱	EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀
產(chǎn)品型號	EQ-TM106
主要特點(diǎn)	1、本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn)，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置，并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù)	EQ-TM106-1監(jiān)測組件 1、電源：DC 5V（±10%），大電流400mA 2、頻率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136Å（鋁） 4、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度 5、測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置 6、測量范圍：500000Å（鋁） 7、標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6MHz 8、計(jì)算機(jī)接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗(yàn)：無） 9、模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出） 10、工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm
	EQ-TM106-2顯示儀 1、輸入電源：AC 220V±10% 2、輸出電源：DC 5V 3A 3、顯示器：12×2數(shù)碼管與LED 4、通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位，奇偶校驗(yàn)：無） 5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm
	EQ-TM106-3探頭 1、適用晶片頻率：6MHz 2、適用晶片尺寸：Ø14mm 3、安裝法蘭：CF35 4、冷卻水管：Ø3mm，長度300mm、500mm、1000mm 5、冷卻水壓：<0.3MPa 6、氣動擋板路管：Ø3mm 7、壓縮空氣壓力：<0.8MPa，>0.5MPa 8、烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃ 9、電氣接口：BCN插座
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	EQ-TM106-1監(jiān)測組件	1個
	2	EQ-TM106-2顯示儀	1臺
	3	EQ-TM106-3探頭	1個