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SLM激光器

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SLM-Series

單頻 ns-激光器

SLM激光器有<12ns的短脈沖輸出,衍射極限光束M2<1.2在8-15KHz的重頻之間。種子激光器輸出帶寬∆ ν < 80 MHz. 這些激光器非常適用于科研應(yīng)用。

激光器詳細(xì)參數(shù):

型號

SLM-1.06

SLM-S

SLM-355

SLM-266

SLM-213

波長

1064nm

532 nm

355 nm

266 nm

213 nm

譜寬

< 80 MHz

< 80 MHz

< 80 MHz

< 80 MHz

< 80 MHz

相干長度

> 1 m

> 1 m

> 1 m

> 1 m

> 1 m

平均功率

> 8.0W

> 4.0 W

> 2.0 W

> 500 mW

> 100 mW

脈寬

< 12 ns

< 12 ns

< 10 ns

< 10 ns

< 8 ns

單脈沖能量

800 µJ

400 µJ

200 µJ

> 80 µJ

10 µJ

重頻

8 - 15 kHz

8 - 15 kHz

8 - 15 kHz

1 - 20 kHz

8 -15 kHz

< 1.2

< 1.3

< 1.3

< 1.7

< 1.6

pulse-to-pulse 穩(wěn)定性.

σ < 0.3%

σ <1.0%

σ <2.0%

σ <2.0%

σ <2.5%

Ixion-193-SLM

IXION-193 SLM是一款單頻全固體激光系統(tǒng),應(yīng)用于光學(xué)計量,193nm步進光學(xué)校準(zhǔn),或者高功率ArF*的帶寬控制。激光器系統(tǒng)中心波長在190-194nm,精度0.01nm.

產(chǎn)品特色:

·激光二極管泵浦

·密封封裝

·槽安裝激光二極管

·的TEM00光束輪廓

·低pulse-to-pulse波動

·不需維護的熱電管理

·19’’機架電源和冷卻裝置

·Labview驅(qū)動

·集成光譜儀為在線波長控制(可選)

應(yīng)用:

·193nm計量學(xué)

·光譜儀校準(zhǔn)

·干涉測量法

·*的種子注入

詳細(xì)參數(shù):

型號

IXION-193 SLM

波長

193.368 nm

平均功率

> 10 mW

脈寬

< 10 ns

單脈沖能量

1.6 µJ

重頻

6 kHz

< 1.6

光譜線寬

< 120 MHz ⇔0.015 pm ⇔ 0.004cm-1

光譜可調(diào)諧性

> 80 GHz ⇔ 10pm ⇔2.6 cm-1

相干長度

> 1 m


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