小流量氣體流量計(jì)
項(xiàng)目 | 參數(shù)信息 |
大量程 | 50sccm-500sccm(可定制) |
精度 | ±1%F.S. |
氣體類型 | H2/He/N2/Air/Ar(可定制)) |
響應(yīng)時(shí)間 | 1s |
壓差范圍 | <1MPa |
工作溫度 | 0~50℃ |
工作濕度 | 0~95%R.H.(非冷凝) |
工作電壓 | 24V±10%/12V±10% |
信號(hào)接口 | RS-485(Modbus) |
氣路材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金/鋁合金惰性涂層 |
氣路接口 | 1/16 |
尺寸 | 55×46×22mm |
小流量氣體流量計(jì)產(chǎn)品優(yōu)勢:
1、微處理器控制:內(nèi)部采用可編程未處理器控制,使用PID控制,可實(shí)現(xiàn)不同工況條件下進(jìn)行高速的流量控制。
2、標(biāo)定方法:執(zhí)行JJG 1132-2017國家標(biāo)準(zhǔn),所有產(chǎn)品均采用特定高純氣體標(biāo)定,確保產(chǎn)品的精度。
可通過標(biāo)定軟件對氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行標(biāo)定,只需將MFC通過RS-485總線與PC連接即可進(jìn)行標(biāo)定。
3、RS-484總線接口:內(nèi)置RS-485總線接口,可選擇使用RS-485串口控制或按鍵控制兩種模式。可通過RS-485總線組網(wǎng),實(shí)現(xiàn)多臺(tái)MFC同時(shí)控制。
4、多氣體多量程選擇:內(nèi)部設(shè)置了多種氣體模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用戶可根據(jù)用戶手冊及使用需求進(jìn)行操作選擇。
同時(shí),本公司提供擇不同量程MFC產(chǎn)品,用戶可根據(jù)需求進(jìn)行選。
5、緊湊的外形尺寸:尺寸非常小巧緊湊,用戶使用時(shí),不但能夠減小系統(tǒng)體積和重量,同時(shí)能夠集成更多的功能模塊。