YA樣品臺(tái)
主要用于硅和藍(lán)寶石等單晶的大型晶體柱面及片的檢測(cè),增加了承重軌道,可測(cè)重1-30公斤,直徑2-8英寸棒。同時(shí)加有氣泵,可測(cè)2-8英寸片狀樣品。
YB樣品臺(tái)
主要用于硅及藍(lán)寶石等單晶的圓柱形晶體的端面檢測(cè),增加了承重軌道。樣品臺(tái)采用V型槽設(shè)計(jì),V型槽的寬度可自動(dòng)調(diào)整,便于不同規(guī)格大型圓柱形晶體在樣品臺(tái)上360°旋轉(zhuǎn)。人性化的設(shè)計(jì),使設(shè)備更合理,可測(cè)重1-30公斤、直徑2-8英寸、長(zhǎng)350mm棒材端面,同時(shí)加有氣泵,可測(cè)2-8英寸片狀樣品。
YD樣品臺(tái)
主要用于硅及藍(lán)寶石等單晶片的外圓參考面的檢測(cè),吸氣盤(pán)上接收X射線的位置采用開(kāi)放式設(shè)計(jì),克服了吸氣盤(pán)遮擋X射線和定位不準(zhǔn)的問(wèn)題,滿足不同規(guī)格晶片參考邊的檢測(cè)。樣品臺(tái)的吸氣泵可把2-8英寸的晶片吸住,使檢測(cè)更加準(zhǔn)確。
Ye樣品臺(tái)
主要用于硅和藍(lán)寶石等晶片的多點(diǎn)測(cè)量,晶片可在樣品臺(tái)上手動(dòng)旋轉(zhuǎn),如0°、90°、180°、270°等,可滿足客戶對(duì)晶片的特殊測(cè)量需求。