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I100 納米壓痕儀

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主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過壓入載荷大小與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積

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美國NANOVEA納米壓痕測試儀
美國NANOVEA公司是一家*的壓痕測試儀的革新者,生產(chǎn)的壓痕測試儀是目前上用在科學研究和工業(yè)領域的設備,主要應用在:半導體技術(shù)鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層;光學組件*頭、光纖、光學刮擦保護層;金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具;藥理學藥片、植入材料、生物組織;工程學油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè);
特點:主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試,測試結(jié)果通過壓入載荷大小與壓入深度的曲線計算得出,無需通過顯微鏡觀察壓痕面積,
·*符合ISO14577、ASTME2546
·光學顯微鏡自動觀察
·*的熱漂移控制技術(shù)
·可測量硬度、楊氏模量、壓入深度-載荷的曲線圖、彈塑性、蠕變性能等力學參數(shù)
·適時測量載荷大小
·采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器
·快速的壓電陶瓷驅(qū)動的載荷反饋系統(tǒng)
·雙標準校正:熔融石英與藍寶石
技術(shù)參數(shù)

載荷范圍
400mN(800mN,1600mN可選
0.03μN
深度范圍
250μm
深度分辨率
0.003nm
熱飄逸
<0.05nm/s
zui大摩擦力
400mN
Sinus 模式分析(DMA)
20HZ


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