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sem 高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京新月中科科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) sem
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2021/1/26 13:36:41
  • 訪問(wèn)次數(shù) 2326

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高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM該系統(tǒng)高度的智能化結(jié)合超高速成像能力(4TB/天),使之具備了跨尺度信息融合能力。它可以全自動(dòng)的超大區(qū)域(100mmX100mm)全息地圖集式成像模式,可以在同時(shí)保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)的無(wú)遺漏信息采集,并繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM

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全部產(chǎn)品 > 電鏡系列 > 掃描電鏡 > 正文
高通量掃描電鏡系統(tǒng)(High Throughput SEM),

NavigatorTM系列是高通量電鏡技術(shù)在材料表面分析、神經(jīng)生物學(xué)領(lǐng)域的一項(xiàng)全新的應(yīng)用。與傳統(tǒng)SEM不同的是,NavigatorTM針對(duì)大面積SEM分析的特定應(yīng)用而全新設(shè)計(jì)的高通量電子光學(xué)成像系統(tǒng),重點(diǎn)優(yōu)化低落點(diǎn)能量下BSE的成像速率,同時(shí)保證SE的接收效率為95%以上,使SE和BSE的成像速率達(dá)到傳統(tǒng)SEM的10倍左右,搭配聚焦跟蹤系統(tǒng)和光學(xué)導(dǎo)航等輔助模塊,綜合成像速率是傳 統(tǒng)SEM的30倍以上。以半導(dǎo)體晶圓分析為例,以4nm像素大小掃描300umX300um區(qū)域內(nèi)的晶圓刻線,傳統(tǒng)電鏡需要至少38分鐘完成相同工作,而高通 量?jī)H需0.9分鐘即可完成自動(dòng)圖像采集,并生成Google Map式全景樣品地圖。您僅需推動(dòng)鼠標(biāo)滾輪,一切信息便展現(xiàn)在屏幕上,并可以對(duì)感興趣的 位置進(jìn)行標(biāo)注。您也可以使用手動(dòng)模式,實(shí)時(shí)地快速翻看樣品免去不必要的光學(xué)參數(shù)調(diào)整。業(yè)界首-創(chuàng)的索引式查看功能使用戶(hù)無(wú)需再繁瑣地操作電 鏡而可以專(zhuān)注于搜尋樣品本身的信息。

應(yīng)用領(lǐng)域:大面積表面材料分析、半導(dǎo)體晶圓分析、神經(jīng)生物學(xué)3D重構(gòu)、生物組織切片分析等。

高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM該系統(tǒng)在設(shè)計(jì)中具備如下特點(diǎn):

  1. 首-創(chuàng)并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高效電子收集和成像系統(tǒng),采用同軸電子直接探測(cè)技術(shù)和高速FPGA采集模塊,使該系統(tǒng)在世界上*實(shí)現(xiàn)低加速電壓(1kV)下100M/s級(jí)二次電子(Secondary Electron)和背散射電子(Backscatter Electron)的超高速同步成像!該系統(tǒng)具備非比尋常的視頻級(jí)(120fps@512X512)納米尺度分析能力,使掃描電鏡從傳統(tǒng)意義的納米“照相機(jī)”變成納米“攝像機(jī)”。

  2. 針對(duì)于低加速電壓、大視野下分辨率而專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的電子光學(xué)鏡筒光路,采用浸沒(méi)搖擺電磁復(fù)合透鏡設(shè)計(jì),使其在1kV加速電壓下即可獲得1.8nm、3kV下可獲得1.5nm的高分辨率能力,且具備高分辨率視場(chǎng)的區(qū)域較傳統(tǒng)掃描電鏡大4倍以上,而且保持高線性度(1‰的計(jì)量級(jí))。

  3. 該系統(tǒng)高度的智能化結(jié)合超高速成像能力(4TB/天),使之具備了跨尺度信息融合能力。它可以全自動(dòng)的超大區(qū)域(100mmX100mm)全息地圖集式成像模式,可以在同時(shí)保持高分辨率情況下對(duì)樣品進(jìn)行全自動(dòng)的無(wú)遺漏信息采集,并繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。結(jié)合人工智能(A.I.)算法,可以對(duì)工程級(jí)材料進(jìn)行整體納米晶粒分布統(tǒng)計(jì)、各類(lèi)缺陷的標(biāo)記與歸類(lèi)、成分分布等電鏡微區(qū)分析。并且標(biāo)配的真空預(yù)抽室和伸縮臂機(jī)構(gòu),使之具備真正意義上的“一鍵全自動(dòng)換樣”。

  4. 完備的二次開(kāi)發(fā)接口,為全-方位地滿(mǎn)足客戶(hù)定制需求,提高掃描電鏡的圖像采集效率,發(fā)揮電鏡高通量性能,(Navigator100)高通量電鏡供完備的二次開(kāi)發(fā)接口,以供客戶(hù)定制個(gè)性化的圖像采集流程。

        高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM除了生物領(lǐng)域,(Navigator100)系列的在材料科學(xué)、工業(yè)應(yīng)用等方面也有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。得益于其硬件系統(tǒng)高通量的設(shè)計(jì)和軟件系統(tǒng)陣列式掃描支持,(Navigator100)特別適用于對(duì)樣品進(jìn)行大面積地圖集式圖像采集,采集的結(jié)果是一個(gè)類(lèi)似Google地圖的數(shù)T大小的圖像數(shù)據(jù)包。高通量掃描電鏡系統(tǒng)High Throughput SEM

產(chǎn)地類(lèi)別:
 國(guó)產(chǎn)
背散射電子圖像分辨率:
 2.0nm@10kv,2.5nm@3kv,3nm@1kv
二次電子圖象分辨率:
 1.2nm@10kv, 1.5nm@3kv, 1.8nm@1kv
加速電壓:
 0.1-12kv
放大倍數(shù):
 200-600,000X
價(jià)格區(qū)間:
 500萬(wàn)-700萬(wàn)
儀器種類(lèi):
 場(chǎng)發(fā)射
 
 


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