從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺式等離子清洗機(jī)
用途
●  高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通   過氧化反應(yīng)，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能   基（微量的水分及二氧化碳影響）。   同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生   成-NH 2等官能基。
●  硅晶圓蝕刻。
●  材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
●  石棉預(yù)處理（膜過濾灰化）。
●  從電子設(shè)備到生化市場。
●  低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
●  使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
●  表面有機(jī)物去除
特點
●  RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
●  由于是尺寸緊湊的臺式機(jī)，很小的位置都可以安裝。
●  同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
●  等離子體反應(yīng)器（灰化設(shè)備）（PR200）。
●  同步、自動調(diào)諧（PR200）。

反應(yīng)腔

［例］石棉分析前處理

規(guī)格