激光干涉平面度測(cè)量?jī)x，采用激光掠入射光干涉原理，專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測(cè)量評(píng)估, 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)（Wafers）、LCD掩膜、玻璃、泵、閥門(mén)密封件表面（Sealing surfaces），以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。

激光干涉平面度測(cè)量?jī)x，采用掠入射光干涉原理，專(zhuān)注于高精密加工表面平面度快速測(cè)量評(píng)估, 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門(mén)密封件表面(Sealing surfaces)，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆ 非接觸式平面度測(cè)量接觸

◆ 高精密評(píng)估: ＜0.4µm

◆ 測(cè)量速度快: ＜3秒

◆ 可用于車(chē)間現(xiàn)場(chǎng), 100%全檢

◆ 平面度評(píng)估符合ISO/TS12781-1(FLTt)

◆ 三維形貌評(píng)估軟件, 可支持CNC編程批量檢測(cè)

◆ 表面自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng), 或手動(dòng)選擇區(qū)域(圓, 圓環(huán), 矩形區(qū)域)評(píng)估

◆ 數(shù)據(jù)采集量大, 一次完成對(duì)300,000點(diǎn)的評(píng)估

◆ 快速生成報(bào)告并保存為.csv數(shù)據(jù)格式, 支持Q-das等統(tǒng)計(jì)分析軟件

◆ 廣泛應(yīng)用于拋光, 研磨或細(xì)磨精密表面, 像閥門(mén)盤(pán), 密封環(huán)等

技術(shù)參數(shù)：