特點

核心理念

1. 采用優(yōu)異的成像技術(shù)
   SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細(xì)結(jié)構(gòu)等多種檢測信號。全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和檢的樣品。大開倉設(shè)計，標(biāo)配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸大移動距離為135×100 mm，重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺*不成問題。

   相機導(dǎo)航功能^(*)

   

   通過相機拍攝樣品

   　　　　　　將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導(dǎo)航

   SU7000可選配導(dǎo)航相機^(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內(nèi)，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導(dǎo)航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。大適用尺寸為φ 100 mm。

   (*)

   可選配相機。

   支持動態(tài)觀察的檢測系統(tǒng)

   SU7000可用于環(huán)境改變的動態(tài)觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器^(**)。

   

   

   低真空環(huán)境的探測器選擇
   左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。

   

   

   PD-BSED：響應(yīng)速度提高
   左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。

   (**)

   可選配PD-BSED、UVD。