產(chǎn)品型號

1600℃三溫區(qū)高溫真空管式爐GSL-1600X-III

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，溫度均勻性高，溫區(qū)多，可通氣氛抽真空及安全可靠、操作簡單等特點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz  4KW

2、氧化鋁陶瓷管：外徑Ø60mm，Ø80mm，長1200mm

3、加熱元件：溫區(qū)I硅碳棒，溫區(qū)II硅鉬棒，溫區(qū)I硅碳棒

4、工作溫度：1300℃（溫區(qū)I），1500℃（溫區(qū)II），1300℃（溫區(qū)III）

5、極限溫度：1400℃（溫區(qū)I），1600℃（溫區(qū)II），1400℃（溫區(qū)III）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：860mm×470mm×720mm；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

氧化鋁陶瓷管

1根

2

氧化鋁管堵

4個

3

真空法蘭

1套

4

坩堝鉗

1把

5

高溫手套

1雙

可選配件

1、高真空系統(tǒng)

2、供氣混氣系統(tǒng)

3、石英管

4、氧化鋁坩堝

5、石英坩堝

6、雙級旋片真空泵

7、PC控制軟件