產(chǎn)品介紹：等離子體表面改性處理儀（P-5）

P-5等離子體表面改性處理儀是一款經(jīng)濟型的臺式等離子體表面改性處理儀，該款臺式等離子體表面改性處理儀提供了許多功能，而這些功能是其它競爭設(shè)備上無法找到的。PE-5臺式等離子體表面改性處理儀是專門為小型生產(chǎn)企業(yè)，研發(fā)實驗室，檢測中心，大學(xué)研制開發(fā)的。是一款用于等離子體滅菌和表面改性的理想臺式等離子體表面改性處理儀。

等離子體表面改性處理儀縱覽
該等離

產(chǎn)品介紹：等離子體表面改性處理儀（P-5）

P-5等離子體表面改性處理儀是一款經(jīng)濟型的臺式等離子體表面改性處理儀，該款臺式等離子體表面改性處理儀提供了許多功能，而這些功能是其它競爭設(shè)備上無法找到的。PE-5臺式等離子體表面改性處理儀是專門為小型生產(chǎn)企業(yè)，研發(fā)實驗室，檢測中心，大學(xué)研制開發(fā)的。是一款用于等離子體滅菌和表面改性的理想臺式等離子體表面改性處理儀。

等離子體表面改性處理儀縱覽

該等離子體表面改性處理儀專門用于小規(guī)模的生產(chǎn)企業(yè)，研發(fā)機構(gòu)和大學(xué)。 該等離子體表面改性處理儀采用了防暴式矩形焊接鋁合金材質(zhì)真空艙，艙體尺寸為15厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高；并設(shè)置直接供電的射頻（RF）電極。

等離子體表面改性處理儀的應(yīng)用包括醫(yī)療設(shè)備，太陽能電池，印刷電路板，連接器，微機電系統(tǒng)（MEMS），納米技術(shù)，晶圓級封裝，接觸眼鏡以及其他許多相關(guān)的半導(dǎo)體工藝。

等離子體表面改性處理儀特點 

正如所有等離子體表面改性處理儀，P-5采用電容耦合（CCP）平行電極板設(shè)計，從而zui有效的產(chǎn)生等離子體。

與傳統(tǒng)玻璃/石英圓筒艙不同的是，這些競爭設(shè)備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應(yīng)耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設(shè)置一種低效率方式，導(dǎo)致輸入功率損失及相當(dāng)?shù)偷奈g刻/清潔去除速率。

P-5等離子體表面改性處理儀是由美國制造的部件組裝而成，我們提供的業(yè)內(nèi)客戶服務(wù)和支持。

等離子體表面改性處理儀可用于在精確控制的條件下，對各種不同材料的表面進(jìn)行改性；從而避免了采用濕法清洗和蝕刻相關(guān)的安全危害和液體廢料排放的問題。如果有效的表面處理效率對一個工藝很關(guān)鍵，或?qū)τ谝粋€產(chǎn)品的可靠性至關(guān)重要的話，等離子技術(shù)可以提供解決方案。

P-5等離子體表面改性處理儀被用于去除有機和無機污染物，提高潤濕性，提高粘結(jié)強度，并除去殘留物。 該工藝可用于各種產(chǎn)品中使用的材料，并認(rèn)為是一種是有效的方式。

等離子體表面改性處理儀規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)等離子體表面改性處理儀配置

鋁合金真空艙：5厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高
電極設(shè)置：單套 12.7 X 12.7厘米水平電極
射頻電源：125瓦@50kHz射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監(jiān)測系統(tǒng)：皮拉尼真空計0-1托
真空系統(tǒng)：5CFM氧氣真空泵 （可與氧氣等活性氣體適配）
工藝存儲：單處理順序

可選配等離子體表面改性處理儀配置
射頻電源：100W@13.56MHz 射頻（RF）電源和自動匹配器網(wǎng)絡(luò)
燈條
精密質(zhì)量流量計
更大真空艙可選配
更大平行電極可選配

等離子體表面改性處理儀機電信息
電源： 220VAC，50Hz@ 14A
系統(tǒng)主機毛重：25公斤
真空泵毛重：15公斤
系統(tǒng)主機尺寸：36厘米 X 36厘米 X 46厘米
真空泵浦尺寸：18厘米×41厘米